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SOI-納米技術(shù)時代的高端硅基材料

SOI-納米技術(shù)時代的高端硅基材料

定  價:88 元

        

  • 作者:林成魯
  • 出版時間:2009/6/1
  • ISBN:9787312022333
  • 出 版 社:中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)出版社
  • 中圖法分類:H31 
  • 頁碼:468
  • 紙張:
  • 版次:1
  • 開本:16開
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絕緣體上硅(silicon on insulator,SOI)技術(shù)在高速、低壓低功耗電路、高壓電路、抗輻射、耐高溫電路、微機(jī)械傳感器、光電集成等方面具有重要應(yīng)用,是微電子和光電子領(lǐng)域發(fā)展的前沿,被國際上公認(rèn)為“二十一世紀(jì)的硅集成電路技術(shù)”。《SOI:納米技術(shù)時代的高端硅基材料》收集的納米技術(shù)時代的高端硅基SOI材料方面的研究論文40篇,主要內(nèi)容包括:SOI——納米技術(shù)時代的高端硅基材料進(jìn)展,SOI新材料的制備科學(xué),SOI材料與器件特有的物理效應(yīng),絕緣體上鍺硅(silicon germanium on insulator,SGOI)新結(jié)構(gòu)和應(yīng)變硅的制備科學(xué),SOI技術(shù)的若干應(yīng)用研究等。書中包含了高端硅基材料前沿領(lǐng)域的多方面創(chuàng)新研究成果!禨OI:納米技術(shù)時代的高端硅基材料》可作為微電子、光電子、微機(jī)械、半導(dǎo)體材料、納米材料等專業(yè)的大專院校師生和專業(yè)技術(shù)人員重要的參考書,也可以作為信息領(lǐng)域其他專業(yè)的師生、科研人員和工程技術(shù)人員參考資料。
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