第一章 緒論
§1.1 從微電子到光電子
§1.2 硅基光電子學(xué)的發(fā)展
§1.3 硅基光電子學(xué)的應(yīng)用
§1.4 總結(jié)
參考文獻(xiàn)

第二章 硅中光子與電子的相互作用
§2.1 波動(dòng)光學(xué)與光子光學(xué)
§2.2 半導(dǎo)體能帶結(jié)構(gòu)
§2.3 硅基光子晶體帶隙結(jié)構(gòu)
§2.4 硅中光子與載流子的相互作用
參考文獻(xiàn)

第三章 硅基光波導(dǎo)
§3.1 電磁理論基礎(chǔ)
§3.2 光波導(dǎo)基本理論
§3.3 波導(dǎo)耦合理論
§3.4 SOl光波導(dǎo)
參考文獻(xiàn)

第四章 硅基無(wú)源器件
§4.1 光柵器件
§4.2 光子晶體平板波導(dǎo)
§4.3 多模干涉耦合器
§4.4 陣列波導(dǎo)光柵
§4.5 微環(huán)諧振腔
§4.6 總結(jié)
參考文獻(xiàn)

第五章 硅基光源
§5.1 光發(fā)射的基礎(chǔ)理論
§5.2 硅放大的限制
§5.3 硅基發(fā)光材料
§5.4 硅基發(fā)光二極管
§5.5 硅基激光器
§5.6 總結(jié)
參考文獻(xiàn)

第六章 硅基光學(xué)調(diào)制
§6.1 光學(xué)調(diào)制原理
§6.2 光學(xué)調(diào)制評(píng)價(jià)
§6.3 硅基電光調(diào)制
§6.4 硅基熱光調(diào)制
§6.5 硅基聲光調(diào)制
參考文獻(xiàn)

第七章 硅基光電探測(cè)器
§7.1 光電探測(cè)器的基本原理
§7.2 光電探測(cè)器的特性和結(jié)構(gòu)
§7.3 硅光電探測(cè)器
§7.4 鍺硅光電探測(cè)器
§7.5 總結(jié)
參考文獻(xiàn)

第八章 硅基表面等離子激元器件
§8.1 表面等離子激元概述
§8.2 表面等離子激元局域增強(qiáng)特性
§8.3 表面等離子體激元器件
§8.4 總結(jié)
參考文獻(xiàn)

第九章 硅基光電子器件工藝與系統(tǒng)集成
§9.1 平面工藝
§9.2 薄膜制備
§9.3 光刻技術(shù)
§9.4 刻蝕技術(shù)
§9.5 系統(tǒng)集成
§9.6 總結(jié)
參考文獻(xiàn)
……
第十章 硅基光電子學(xué)的應(yīng)用