本書共分7章，主要介紹SOI晶圓制備技術(shù)、SOI晶圓材料力學(xué)特性與結(jié)構(gòu)特性、機(jī)械致晶圓級(jí)單軸應(yīng)變SOI技術(shù)、高應(yīng)力氮化硅薄膜致晶圓級(jí)應(yīng)變SOI技術(shù)及其相關(guān)效應(yīng)、高應(yīng)力氮化硅薄膜致應(yīng)變SOI晶圓制備、晶圓級(jí)應(yīng)變SOI應(yīng)變模型、晶圓級(jí)應(yīng)變SOI應(yīng)力分布的有限元計(jì)算。