第一章 緒論 001
第一節(jié)　高純度化學品概述 002
第二節(jié)　高純度化學品精餾關鍵技術分類 003
一、高效精餾傳質(zhì)元件開發(fā)技術 003
二、微量雜質(zhì)脫除技術 004
三、特殊精餾及精餾耦合技術 004
四、精餾節(jié)能及低排放技術 004
第三節(jié)　高純度化學品精餾關鍵技術先進性及發(fā)展趨勢 005
一、解決物系復雜且雜質(zhì)含量極微分離難題的技術先進性 005
二、解決雜質(zhì)與產(chǎn)品沸點極為相近分離難題的技術先進性 006
三、高純度化學品精餾關鍵技術發(fā)展趨勢 007
第四節(jié)　高純度化學品精餾技術的研究意義 007
一、集成電路領域高純度化學品需求現(xiàn)狀 008
二、高純度化學品的未來市場走向 009
參考文獻 009

第二章 高純度化學品精餾分離的原理和方法 011
第一節(jié)　高純度化學品分離相平衡簡介 012
第二節(jié)　高純度化學品精餾分離原理 013
一、蒸餾 013
二、連續(xù)精餾 014
三、間歇精餾 016
四、其他種類的精餾 019
第三節(jié)　高純度化學品精餾流程模擬簡介 022
第四節(jié)　高純度化學品精餾分離方法 028
一、濕電子化學品的精餾 028
二、三氯氫硅的精餾 029
三、氯乙烯單體的精餾 030
四、電子特氣的精餾 034
參考文獻 037

第三章 高純度化學品精餾的相平衡研究 039
第一節(jié)　高純度化學品的氣液相平衡研究 040
一、氣液相平衡的理論與模型 040
二、氣液相平衡的測試方法 043
三、離子液體的氣液相平衡研究 048
四、活度系數(shù)模型的關聯(lián) 050
五、離子液體在萃取精餾中的應用研究 052
第二節(jié)　高純度化學品的固液相平衡研究 059
一、固液相平衡的理論與模型 060
二、固液相平衡的研究方法 070
三、溶解熱力學分析 071
參考文獻 078

第四章 高效率精餾塔板與填料的研究 083
第一節(jié)　塔板強化傳質(zhì)機理及方法 084
一、減小板上液面梯度和滯留返混 085
二、增加氣液兩相接觸面積 092
第二節(jié)　塔板的CFD研究 094
一、塔板上的氣液兩相流場分布模型 095
二、塔板CFD模擬研究現(xiàn)狀 097
第三節(jié)　新型高效精餾塔板的開發(fā) 105
一、導向篩板/導向浮閥復合塔板的開發(fā)與研究 105
二、新型導向立體噴射填料塔板的開發(fā)與研究 109
第四節(jié)　高效率填料的開發(fā)與研究 112
一、填料發(fā)展概述 112
二、散堆填料 113
三、規(guī)整填料 117
第五節(jié)　填料的流體力學性能研究 121
一、液泛氣速 121
二、壓降 122
三、持液量 124
第六節(jié)　填料的傳質(zhì)性能 125
一、有效相界面積 125
二、填料傳質(zhì)動力學參數(shù) 127
第七節(jié)　計算流體力學在填料研究中的應用 130
一、整體平均CFD模型 130
二、單元綜合CFD模型 130
三、多尺度模型 131
四、高效絲網(wǎng)規(guī)整填料的多尺度CFD模擬研究 132
參考文獻 135

第五章 微量雜質(zhì)的分離和脫除 141
第一節(jié)　高純度化學品中微量雜質(zhì)的分離技術發(fā)展現(xiàn)狀 142
第二節(jié)　吸附的原理與微量雜質(zhì)脫除應用研究 143
第三節(jié)　膜分離和除霧技術原理與微量雜質(zhì)脫除應用研究 149
一、膜分離技術 149
二、除霧技術 151
第四節(jié)　微量雜質(zhì)分離與脫除實例 154
一、電子級硫酸微量雜質(zhì)脫除 154
二、電子級氫氟酸微量雜質(zhì)脫除 157
三、電子級四氟化碳微量雜質(zhì)脫除 160
參考文獻 162

第六章 特殊精餾及精餾耦合技術 165
第一節(jié)　萃取精餾 166
一、萃取精餾原理 166
二、萃取劑的選擇 167
三、萃取劑的篩選方法 168
四、萃取精餾的工業(yè)應用 170
第二節(jié)　共沸精餾 171
一、共沸精餾的分類 171
二、共沸精餾的原理 172
三、殘余曲線圖 173
四、共沸劑的選擇 175
五、共沸精餾的工業(yè)應用 176
第三節(jié)　反應精餾 177
一、反應精餾概述 177
二、反應精餾塔的設計與優(yōu)化 180
三、反應精餾的工業(yè)應用 181
第四節(jié)　精餾-結(jié)晶耦合技術 184
一、結(jié)晶技術概述 184
二、結(jié)晶的特點和分類 185
三、熔融結(jié)晶技術及新裝置 186
四、精餾-結(jié)晶耦合技術 190
五、精餾-結(jié)晶耦合技術的工業(yè)應用 191
第五節(jié)　精餾-膜分離耦合技術 194
一、滲透蒸發(fā)、蒸氣滲透機理模型 194
二、精餾-膜分離耦合技術 196
三、精餾-膜分離耦合技術的工業(yè)應用 198
參考文獻 200

第七章 高純度化學品精餾的節(jié)能技術 203
第一節(jié)　精餾系統(tǒng)的優(yōu)化 204
一、操作壓力優(yōu)化 205
二、進料位置優(yōu)化 207
三、回流比優(yōu)化 209
四、采出比優(yōu)化 210
五、正交試驗設計 212
第二節(jié)　多塔差壓集成精餾節(jié)能技術 214
一、多塔差壓集成精餾的發(fā)展 214
二、能耗公式推導 216
三、參數(shù)調(diào)節(jié) 217
四、差壓精餾經(jīng)濟效益分析 224
五、工業(yè)應用 226
第三節(jié)　中間換熱器的精餾節(jié)能技術 227
一、中間換熱技術在精餾過程中的節(jié)能原理 227
二、中間換熱技術在特殊精餾塔中的應用 231
三、中間換熱技術在隔壁精餾塔中的應用 233
第四節(jié)　熱泵精餾技術 237
一、熱泵精餾概述 237
二、新型熱泵技術 238
三、工業(yè)應用 239
第五節(jié)　熱管節(jié)能技術在高純度化學品精餾中的應用 241
一、熱管節(jié)能技術基本原理 241
二、熱管節(jié)能技術的分類 242
三、工業(yè)應用 244
第六節(jié)　低溫余熱回收技術 244
一、多階梯換熱技術 245
二、工業(yè)應用 245
參考文獻 246

第八章 高純度化學品精餾的低排放技術 249
第一節(jié)　間歇精餾在高純度化學品精餾減排中的應用 250
一、間歇精餾工藝流程 250
二、間歇精餾操作方式 253
三、間歇精餾的設計 256
四、高純度丙酮間歇精餾減排 256
第二節(jié)　新型高效塔器減排 258
一、高效導向篩板 258
二、新型高效填料 260
三、多晶硅精餾減排 260
四、精乙酸甲酯精餾減排 263
五、乙炔精制減排 264
六、高純度聚氯乙烯精餾減排 265
七、高純度乙酸乙烯酯精餾減排 266
參考文獻 267

第九章 高純度化學品精餾的工業(yè)應用 271
第一節(jié)　高純度甲醇的制備 272
一、高純度甲醇生產(chǎn)現(xiàn)狀 272
二、高純度甲醇主要精餾技術 273
三、高純度甲醇其他制備工藝研究 273
四、相關技術工業(yè)應用 273
第二節(jié)　精萘的制備 275
一、精萘生產(chǎn)現(xiàn)狀 275
二、精萘主要精餾技術 276
三、精萘其他制備工藝研究 276
四、相關技術工業(yè)應用 278
第三節(jié)　高純度三氯氫硅的制備 280
一、高純度三氯氫硅生產(chǎn)現(xiàn)狀 280
二、高純度三氯氫硅主要精餾技術 280
三、相關技術工業(yè)應用 284
第四節(jié)　光纖級四氯化硅的制備 285
一、光纖級四氯化硅生產(chǎn)現(xiàn)狀 285
二、光纖級四氯化硅主要精餾技術 286
三、光纖級四氯化硅其他制備工藝研究 287
四、相關技術工業(yè)應用 287
第五節(jié)　電子級三氟化氮的制備 288
一、電子級三氟化氮生產(chǎn)現(xiàn)狀 288
二、電子級三氟化氮主要精餾技術 289
三、電子級三氟化氮其他制備工藝研究 291
四、相關技術工業(yè)應用 292
第六節(jié)　電子級三甲基鎵的制備 294
一、電子級三甲基鎵生產(chǎn)現(xiàn)狀 294
二、相關技術工業(yè)應用 295
第七節(jié)　超凈高純試劑的制備 295
一、超凈高純試劑生產(chǎn)現(xiàn)狀 295
二、相關技術工業(yè)應用 297
參考文獻 301

索引 303