第1章 概述
1.1 集成電路和微加工技術(shù)的發(fā)展
1.2 微機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展
1.3 微光學(xué)的最新發(fā)展
1.4 MEMS中的微光學(xué)：MOEMS回顧
1.4.1 光學(xué)開(kāi)關(guān)的新發(fā)展
1.4.2 可調(diào)諧濾光片和波分復(fù)用技術(shù)（WDMs）
1.4.3 數(shù)字反射鏡裝置
1.4.4 MOEMS掃描器
1.4.5 電信領(lǐng)域中的MOEMS技術(shù)
1.5 微系統(tǒng)：術(shù)語(yǔ)和范圍
1.5.1 世界范圍內(nèi)MEMS和MOEMS的活動(dòng)
1.5.2 世界范圍內(nèi)的MEMS和MOEMS學(xué)科
1.5.3 MEMS和MOEMS的世界市場(chǎng)
1.6 本書涵蓋的內(nèi)容
參考文獻(xiàn)

第2章 微機(jī)械加工技術(shù)
2.1 概述
2.2 散體微加工技術(shù)
2.2.1 濕散體微加工技術(shù)
2.2.2 干散體微加工技術(shù)
2.3 深X射線平版印刷術(shù)（DXRL）
2.4 表面微加工技術(shù)
2.5 與CMOS兼容的MEMS和MOEMS
2.6 以半導(dǎo)體復(fù)合材料為基礎(chǔ)的MEMS和MOEMS
2.7 MOEMS應(yīng)用中與光學(xué)有關(guān)的問(wèn)題
問(wèn)題與練習(xí)
參考文獻(xiàn)

第3章 微光學(xué)
3.1 概述
3.2 微光學(xué)發(fā)展史
3.3 光束通過(guò)微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)
3.3.1 折射和衍射微光學(xué)元件
3.3.2 模擬折射率材料
3.3.3 光子晶體
3.3.4 諧振濾光片
3.3.5 對(duì)輪廓形狀的要求
3.4 二元和多階光學(xué)元件
3.4.1 目的
3.4.2 二元光學(xué)結(jié)構(gòu)的加工
3.4.3 多階結(jié)構(gòu)的加工
3.5 連續(xù)面浮雕結(jié)構(gòu)的加工技術(shù)
3.5.1 平版印刷技術(shù)
3.5.2 表面輪廓轉(zhuǎn)印到光學(xué)材料內(nèi)
3.6 結(jié)論
問(wèn)題與練習(xí)
參考文獻(xiàn)

第4章 致動(dòng)器和傳感器
4.1 概述
4.1.1 微致動(dòng)器
4.1.2 與MOEMS有關(guān)的傳感器
4.1.3 本章的內(nèi)容
4.2 靜電致動(dòng)器
4.2.1 背景
4.2.2 共面致動(dòng)技術(shù)
4.2.3 異面致動(dòng)技術(shù)
4.2.4 三維致動(dòng)技術(shù)
4.3 熱致動(dòng)器
4.3.1 基本原理
4.3.2 共面致動(dòng)技術(shù)
4.3.3 異面致動(dòng)技術(shù)
4.3.4 三維致動(dòng)技術(shù)
4.4 形狀記憶致動(dòng)器
4.4.1 基礎(chǔ)知識(shí)
4.4.2 共面致動(dòng)技術(shù)
4.4.3 異面致動(dòng)技術(shù)
4.4.4 三維致動(dòng)技術(shù)
4.5 壓電致動(dòng)器
4.5.1 基礎(chǔ)知識(shí)
4.5.2 共面致動(dòng)技術(shù)
4.5.3 異面致動(dòng)技術(shù)
4.5.4 三維致動(dòng)技術(shù)
4.6 磁性致動(dòng)器
4.6.1 基礎(chǔ)知識(shí)
4.6.2 共面致動(dòng)技術(shù)
4.6.3 異面致動(dòng)技術(shù)
4.6.4 三維致動(dòng)技術(shù)
4.7 與MOEMS有關(guān)的傳感器
4.7.1 位移傳感器
4.7.2 化學(xué)傳感器
4.7.3 熒光探測(cè)傳感器
4.7.4 慣性傳感器：加速度計(jì)
4.7.5 壓力傳感器
問(wèn)題與練習(xí)
參考文獻(xiàn)

第5章 微光學(xué)元件，測(cè)試和應(yīng)用
5.1 微光學(xué)元件
5.1.1 微光學(xué)透鏡
5.1.2 液晶光學(xué)元件
5.1.3 光束成形光學(xué)元件
5.2 微光學(xué)測(cè)試
5.2.1 光學(xué)輪廓測(cè)量
5.2.2 表面偏離的測(cè)量
5.2.3 波像差測(cè)量
5.3 微光學(xué)的應(yīng)用
5.3.1 光束控制
5.3.2 微透鏡和焦平面陣列(FPA）的集成
問(wèn)題與練習(xí)
參考文獻(xiàn)

第6章 纖維光學(xué)系統(tǒng)
6.1 概述
6.2 基礎(chǔ)知識(shí)
6.2.1 光纖類型
6.2.2 纖維光學(xué)元件的關(guān)鍵參數(shù)
6.2.3 光纖或波導(dǎo)的直接移動(dòng)
6.2.4 平行光束中的控制
6.3 光纖準(zhǔn)直器及其陣列
6.3.1 光纖陣列
6.3.2 微透鏡陣列的要求
6.3.3 微透鏡陣列的制造
6.3.4 光纖陣列和微透鏡陣列的安裝技術(shù)
6.4 安裝有MOEMS的纖維光學(xué)元件
6.4.1 可變光學(xué)衰減器
6.4.2 動(dòng)態(tài)增益和通道均衡器
6.4.3 光學(xué)纖維開(kāi)關(guān)
6.4.4 可調(diào)諧光源和濾光片
6.5 總結(jié)
問(wèn)題與練習(xí)
參考文獻(xiàn)

第7章 光學(xué)掃描
7.1 概述
7.2 光學(xué)掃描器的工作原理及其分類
7.3 機(jī)械掃描系統(tǒng)
7.3.1 傾斜微反射鏡
7.3.2 透鏡掃描器
7.3.3 微電機(jī)掃描器
7.3.4 安裝有杠桿平衡機(jī)構(gòu)的反射鏡
7.3.5 采用表面微加工技術(shù)制造出的反射鏡
7.4 多維掃描
……
第8章 顯示和成像系統(tǒng)
第9章 自適應(yīng)光學(xué)
第10章 MEMS和MOEMS的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)及模擬
第11章 MEMS和MOEMS的封裝
第12章 MEMS和MOEMS材料
書中縮略語(yǔ)注釋