微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)研究主要針對微小系統(tǒng)，它在汽車、無線電話、數(shù)碼相機(jī)以及醫(yī)療設(shè)備等方面都有著廣泛的應(yīng)用。李基邦編著的這本《微機(jī)電系統(tǒng)原理》通過作者研究以及參考其他有價值的文獻(xiàn)，針對MEMS提出了統(tǒng)一法和封閉形式解方法，便于讀者更好地理解MEMS中的線性和非線性問題，以及開展相關(guān)應(yīng)用設(shè)計。
全書共分九章，第一章為緒論部分，介紹了微機(jī)電系統(tǒng)的量綱分析法。第二章介紹了微制造技術(shù)。第三章為微機(jī)電系統(tǒng)在靜力平衡條件下的靜力學(xué)分析。第四章為微結(jié)構(gòu)的靜力性能分析。第五章為微機(jī)電系統(tǒng)動力學(xué)分析。第六章為微機(jī)電系統(tǒng)流體力學(xué)分析。第七章介紹MEMS設(shè)計中涉及的基于電磁學(xué)的基本方程。第八章和第九章介紹如何通過MEMS組件的組合設(shè)計具有特定功能的驅(qū)動器或傳感器。
第1章 引言
1.1 微機(jī)電系統(tǒng)
1.2 耦合系統(tǒng)
1.3 所需知識
1.4 量綱分析
習(xí)題
第2章 微制造
2.1 體微加工和表面微加工
2.2 光刻
2.3 層沉積工藝
2.4 刻蝕法
2.5 制造工藝設(shè)計
習(xí)題
第3章 靜力學(xué)
3.1 靜力平衡 第1章 引言
1.1 微機(jī)電系統(tǒng)
1.2 耦合系統(tǒng)
1.3 所需知識
1.4 量綱分析
習(xí)題
第2章 微制造
2.1 體微加工和表面微加工
2.2 光刻
2.3 層沉積工藝
2.4 刻蝕法
2.5 制造工藝設(shè)計
習(xí)題
第3章 靜力學(xué)
3.1 靜力平衡
3.2 壓-張關(guān)系
3.3 熱應(yīng)力
3.4 扭轉(zhuǎn)力矩作用下梁的性能
3.5 力矩-曲率之間的關(guān)系
3.6 梁方程
3.7 加勒金法
3.8 能量法
3.9 梁問題的能量方法
習(xí)題
第4章 微結(jié)構(gòu)的靜力性能
4.1 微結(jié)構(gòu)的元件
4.2 通用梁的剛度
4.3 桿系
4.4 剛度變換
4.5 平面結(jié)構(gòu)的靜力性能
4.6 殘余應(yīng)力
4.7 結(jié)構(gòu)的立方力
4.8 勢能
4.9 勢能間的相似性
習(xí)題
第5章 動力學(xué)
5.1 三次方程
5.2 運(yùn)動的描述
5.3 動態(tài)支配方程
5.4 勢能和動能之間的能量轉(zhuǎn)換
5.5 無阻尼自由振動系統(tǒng)
5.6 阻尼系統(tǒng)的振動
5.7 多自由度系統(tǒng)
5.8 連續(xù)系統(tǒng)
5.9 有效質(zhì)量、阻尼和剛度
5.10 具有重復(fù)結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)
5.11 達(dá)芬方程
習(xí)題
第6章 流體動力學(xué)
6.1 黏性流
6.2 連續(xù)方程
6.3 納維-斯托克斯方程
6.4 雷諾方程
6.5 庫埃特流動
6.6 流體中的振動板
6.7 蠕動流
6.8 擠壓膜
習(xí)題
第7章 電磁學(xué)
7.1 電路的基本元件
7.2 基爾霍夫電流定律
7.3 靜電學(xué)
7.4 由電場產(chǎn)生的力和力矩
7.5 作用于各種物體的靜電力和力矩
7.6 電磁力
7.7 作用在電場和磁場中運(yùn)動電荷上的力
7.8 壓阻
7.9 壓電性
習(xí)題
第8章 壓電和熱力驅(qū)動器
8.1 組合梁
8.2 壓電驅(qū)動器
8.3 熱力驅(qū)動器
習(xí)題
第9章 靜電驅(qū)動器和電磁驅(qū)動器
9.1 電磁驅(qū)動器
9.2 梳驅(qū)動的驅(qū)動器
9.3 平行板驅(qū)動器
9.4 扭轉(zhuǎn)驅(qū)動器
9.5 兩端固定梁驅(qū)動器
9.6 懸梁驅(qū)動器
9.7 間隙接近驅(qū)動器的動態(tài)響應(yīng)
9.8 間隙接近驅(qū)動器的近似
9.9 電磁驅(qū)動器
習(xí)題
第10章 傳感器
10.1 力和壓力傳感器
10.2 加速度計
10.3 靜電加速度計
10.4 振動陀螺儀
10.5 其他結(jié)構(gòu)
習(xí)題
附錄
參考文獻(xiàn)
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