硅微機械陀螺儀是微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)在慣性儀表領(lǐng)域的一個重要應用，具有體積小、重量輕、成本低、可批量生產(chǎn)、抗沖擊性能好等優(yōu)點，在國民經(jīng)濟和國防軍事領(lǐng)域均有重要的實用價值和廣泛的應用前景，特別是雙質(zhì)量線振動結(jié)構(gòu)形式，更是作為國內(nèi)外各大科研院所的主要研究對象。盡管十幾年來硅微機械陀螺儀的精度顯著提升，但由于各種因素的限制，其靜態(tài)和動態(tài)性能依然無法滿足中高精度領(lǐng)域的要求，這些因素主要包括：加工誤差引起的陀螺輸出信號的惡化及漂移；陀螺結(jié)構(gòu)機械靈敏度和陀螺儀帶寬的矛盾；檢測模態(tài)動態(tài)性能需進一步提升；陀螺溫度特性差；等等。為此，作者根據(jù)國內(nèi)外的最新發(fā)展，并結(jié)合作者多年來在雙質(zhì)量線振動硅微機械陀螺儀領(lǐng)域的研究和工程實踐方面的收獲編寫此書。
　　全書共分7章：第1章為緒論，介紹了硅微機械陀螺儀的基本概念、特點及應用領(lǐng)域，國內(nèi)外研究現(xiàn)狀以及本書的研究目的及意義；第2章為硅微機械陀螺儀原理及結(jié)構(gòu)，主要介紹了哥氏效應、陀螺儀動力學方程、雙質(zhì)量線振動陀螺儀全解耦結(jié)構(gòu)設計及加工技術(shù)；第3章為硅微機械陀螺儀結(jié)構(gòu)噪聲分析和系統(tǒng)模型，介紹了陀螺儀結(jié)構(gòu)中主要的噪聲，建立了理想的陀螺儀結(jié)構(gòu)機械系統(tǒng)模型，并研究了基于自動增益控制（AGC）技術(shù)的驅(qū)動閉環(huán)回路；第4章為雙質(zhì)量線振動硅微機械陀螺儀正交校正技術(shù)研究及優(yōu)化，分析了正交誤差的產(chǎn)生機理以及抑制的方法和途徑；第5章為雙質(zhì)量線振動硅微機械陀螺儀檢測閉環(huán)和頻率調(diào)諧技術(shù)研究，提出了雙質(zhì)量線振動陀螺儀檢測模態(tài)傳遞函數(shù)，并設計了帶有帶寬拓展功能的閉環(huán)控制器，介紹了頻率調(diào)諧方法；第6章為溫度對硅微機械陀螺儀的影響及抑制方法，介紹了溫度模型和溫度控制、溫度補償技術(shù)；第7章為雙質(zhì)量線振動硅微機械陀螺儀測控電路設計及測試技術(shù)，系統(tǒng)地介紹了陀螺儀測試方法。
　　本書是在“九五”、“十五”、“十一五”和“十二五”原總裝備部預研項目以及國家自然基金等相關(guān)課題研究工作的基礎上寫成的，在此向資助本書內(nèi)容的機構(gòu)表示感謝。本書的主要內(nèi)容是作者在東南大學儀器科學與工程學院微慣性系統(tǒng)及器件研究所，以及在美國佐治亞理工學院聯(lián)合培養(yǎng)期間完成的，在此過程中得到了李宏生教授、Paul Douglas Yoder教授、王壽榮教授、黃麗斌教授、周百令教授、楊波教授、夏敦柱教授等老師的幫助和支持，特別是李宏生教授，對本書的研究內(nèi)容做了悉心的指導和大量的修正工作。在本書的撰寫過程中，殷勇、徐露、倪云舫、王曉雷、陳淑鈴、盛霞、丁徐鍇、劉嘉等同志做了大量有益的工作。在此對上述同仁表示由衷的感謝。本書參考或直接引用了國內(nèi)外一些論文和著作，在此向這些論文和著作的作者表示謝意。最后，特別感謝國防科技圖書出版基金對本書的資助。
　　本書涉及多學科交叉領(lǐng)域，由于作者水平有限，對于有些領(lǐng)域的研究進行得不是很深入，因此，書中不妥之處在所難免，誠懇地希望各位專家和讀者不吝指教和幫助。