本書共分11章，分別介紹了精密刻劃技術(shù)與超精密加工技術(shù)、分劃的機械制作方法與設(shè)備、光學光刻技術(shù)、非光學光刻技術(shù)、刻蝕技術(shù)、微透鏡及其陣列制造技術(shù)、光柵和光學碼盤的制造技術(shù)、光學復(fù)制技術(shù)、分劃零件的檢驗技術(shù)、超精密特種加工技術(shù)、超精密測試技術(shù)等內(nèi)容。