本書(shū)共分11章，分別介紹了精密刻劃技術(shù)與超精密加工技術(shù)、分劃的機(jī)械制作方法與設(shè)備、光學(xué)光刻技術(shù)、非光學(xué)光刻技術(shù)、刻蝕技術(shù)、微透鏡及其陣列制造技術(shù)、光柵和光學(xué)碼盤(pán)的制造技術(shù)、光學(xué)復(fù)制技術(shù)、分劃零件的檢驗(yàn)技術(shù)、超精密特種加工技術(shù)、超精密測(cè)試技術(shù)等內(nèi)容。