本書從表面科學的基本概念入手，圍繞表面科學與工程中的基本物理化學問題展開，主要敘述了固體表面特征、涂層與薄膜材料沉積制備的現(xiàn)代材料表面處理技術與應用，著重以與表面密切相關的等離子體、電子束、激光束、離子束、低壓等離子體、輝光放電等先進科學技術為基礎，結合涂層材料、薄膜材料的特點，涉及表面科學中與表面（界面）相關的基本理論，以及材料材料表面改性、先進的薄膜氣相沉積技術與表面復合技術；并扼要介紹了表面測試分析研究方法等內容。