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AlN/GaN基背入射式金屬-半導(dǎo)體-金屬紫外探測(cè)器研究

AlN/GaN基背入射式金屬-半導(dǎo)體-金屬紫外探測(cè)器研究

定  價(jià):50 元

        

  • 作者:李滔,戴小標(biāo)著
  • 出版時(shí)間:2023/4/1
  • ISBN:9787522127576
  • 出 版 社:中國(guó)原子能出版社
  • 中圖法分類(lèi):TN23 
  • 頁(yè)碼:214頁(yè)
  • 紙張:
  • 版次:1
  • 開(kāi)本:26cm
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光電傳感器是太空探索、環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)生產(chǎn)和人們?nèi)粘I钪谐R?jiàn)的一種元件。隨著我國(guó)對(duì)于太空探索的不斷深入、工業(yè)自動(dòng)化程度的不斷提高,對(duì)于光電器件性能的要求越來(lái)越高。本書(shū)從理論和實(shí)踐兩方面出發(fā),首先提出了一種基于AlNGaN的背入射式3D結(jié)構(gòu)紫外探測(cè)器。采用半導(dǎo)體仿真軟件分析了AlNGaN基3D結(jié)構(gòu)器件各參數(shù)對(duì)器件性能的影響規(guī)律。第二部分,采用實(shí)驗(yàn)方法,制備了不同結(jié)構(gòu)參數(shù)的3D器件,并對(duì)各器件進(jìn)行性能測(cè)試。最后,結(jié)合實(shí)驗(yàn)結(jié)果和仿真結(jié)果分析,得到了影響3D結(jié)構(gòu)器件性能的一般規(guī)律。本書(shū)研究結(jié)果為光電器件設(shè)計(jì)和應(yīng)用提供了借鑒,促進(jìn)光電器件的發(fā)展。
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