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寬禁帶功率半導(dǎo)體器件可靠性
以碳化硅、氮化鎵為代表的第三代寬禁帶功率半導(dǎo)體器件具有導(dǎo)通電阻低、擊穿電壓高、開關(guān)速度快及熱傳導(dǎo)性好等優(yōu)點,相比傳統(tǒng)的Si基功率器件,可簡化功率電子系統(tǒng)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),減小系統(tǒng)損耗和體積,因而對功率電子系統(tǒng)的發(fā)展至關(guān)重要。然而,由于寬禁帶器件的外延材料和制備工藝仍不完善,器件界面缺陷密度大等問題,使得寬禁帶功率器件在高溫、高壓、大電流及快速開關(guān)等極限條件下長期應(yīng)用時,可靠性問題頻發(fā),嚴(yán)重制約了寬禁帶功率半導(dǎo)體器件的推廣應(yīng)用。
本書詳細(xì)介紹了碳化硅、氮化鎵功率器件在各類雪崩、短路、高溫偏置等惡劣電熱應(yīng)力下的損傷機(jī)理,并講述了相關(guān)表征方法及壽命模型,同時討論了高可靠寬禁帶器件新結(jié)構(gòu),對寬禁帶功率器件相關(guān)技術(shù)人員及學(xué)者具有較強(qiáng)的指導(dǎo)意義。
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