本書是根據(jù)作者近幾年在大連理工大學等離子體物理專業(yè)碩士和博士研究生授課講義的基礎(chǔ)上編寫而成的。本書做了如下改革：（1）由于我國在低溫等離子體物理方面的教材短缺，本書力求突出低溫、低氣壓等離子體的特點，系統(tǒng)介紹低溫等離子體的基本概念、基本模型和基本原理。（2）為了突出低溫等離子體在半導體工業(yè)中的應(yīng)用，本書后幾章將重點介紹射頻和微波放電的基本原理和物理現(xiàn)象。內(nèi)容包括：低溫等離子體中的碰撞過程和碰撞截面；描述低溫等離子體的基本模型：粒子模型、動理學模型、流體力學模型、穩(wěn)態(tài)輸運；低氣壓放電：直流放電、射頻鞘層、容性耦合放電、甚高頻放電的駐波效應(yīng)、感性耦合放電、螺旋波放電、微波放電。

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