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半導體材料及器件輻射缺陷與表征方法 讀者對象:本書可供從事航天技術研究的專業(yè)人員和相關應用領域的科技人員參考,也可作為高等院校航空宇航科學與技術、空間科學、材料物理和集成電路學科的研究生教材
全書共分為4章,系統(tǒng)闡述了輻射誘導半導體缺陷的相關理論、數(shù)值模擬方法、表征技術及應用?臻g輻射誘導缺陷是導致電子元器件性能退化的重要原因,然而輻射誘導缺陷的形成、演化和性質與半導體材料本身物理屬性、器件類型及結構密切相關。
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