本書共9章，以硅微機械陀螺為研究對象，通過數(shù)學物理方程推導微機電系統(tǒng)宏模型，采用對稱拓撲設計微機械陀螺結(jié)構(gòu)，制訂簡單、高效的工藝加工微機械陀螺，根據(jù)精密控制、電學知識設計微機械陀螺測控電路，從而闡明硅微機械陀螺誤差產(chǎn)生機理，并為減小誤差提供研究思路。本書內(nèi)容新穎，簡明扼要。

更多科學出版社服務，請掃碼獲取。