《微機電系統(tǒng)設(shè)計及應(yīng)用探究》一書中講述的微機電系統(tǒng)涉及多學(xué)科交叉, 具有能夠在狹小空間內(nèi)進行作業(yè)而又不擾亂工作環(huán)境的特點, 有著廣泛的應(yīng)用前景。本書結(jié)合當前微機電系統(tǒng)的科學(xué)研究, 對微機電系統(tǒng)原理和設(shè)計、微細加工技術(shù)、相關(guān)的檢測技術(shù)以及微機電系統(tǒng)的應(yīng)用等內(nèi)容進行了介紹, 使讀者對微機電系統(tǒng)的設(shè)計與制造有一個比較完整的了解, 為開展微機電系統(tǒng)的研究奠定必要的基礎(chǔ)。