前言
第1章概論
1.1真空及真空獲得設(shè)備
1.2大氣壓力
1.3真空度
1.4真空區(qū)域劃分
1.5真空應(yīng)用
第2章泵與真空泵
2.1泵的含義
2.2泵的分類
2.2.1基于泵的主軸方向不同的分類
2.2.2基于泵的吸口數(shù)目不同的分類
2.2.3基于泵的工作原理不同的分類
2.3真空泵
2.3.1真空泵的主要性能參數(shù)
2.3.2真空泵的名稱與代號(hào)
2.3.3真空泵型號(hào)組成
2.3.4真空泵的分類
2.3.5真空泵的工作壓力范圍
習(xí)題
第3章羅茨真空泵
3.1羅茨真空泵的種類
3.2羅茨真空泵的轉(zhuǎn)子形狀
3.3羅茨真空泵的工作原理
3.4羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
3.5羅茨真空泵的基本參數(shù)確定
3.5.1幾何抽速
3.5.2實(shí)際抽速
3.5.3有效抽氣量
3.5.4零流量時(shí)壓縮比
3.5.5有效壓縮比
3.5.6功率
3.6羅茨真空泵設(shè)計(jì)案例
3.6.1轉(zhuǎn)子型線計(jì)算
3.6.2轉(zhuǎn)子型線繪制
3.6.3抽速驗(yàn)證
習(xí)題
真空獲得設(shè)備及應(yīng)用
目錄
第4章螺桿真空泵
4.1螺桿真空泵的種類
4.1.1基于螺桿數(shù)量不同的分類
4.1.2基于螺桿頭數(shù)不同的分類
4.1.3基于氣體壓縮方式不同的分類
4.2螺桿真空泵的工作原理
4.2.1吸氣過程
4.2.2壓縮過程
4.2.3排氣過程
4.3螺桿轉(zhuǎn)子端面型線
4.3.1單頭梯形型線
4.3.2矩形型線
4.3.3螺桿轉(zhuǎn)子三維模型建模案例
4.4螺桿真空泵的基本參數(shù)確定
4.4.1螺桿長(zhǎng)度、螺紋升角與導(dǎo)程
4.4.2面積利用系數(shù)
4.4.3吸氣容積與幾何抽速
習(xí)題
第5章液環(huán)真空泵
5.1液環(huán)真空泵的種類
5.2液環(huán)真空泵的工作原理
5.3液環(huán)真空泵的基本參數(shù)確定
5.3.1抽氣速率
5.3.2極限壓力
5.3.3軸功率和效率
習(xí)題
第6章旋片真空泵
6.1旋片真空泵的種類
6.2旋片真空泵的工作原理
6.3旋片真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
6.4旋片真空泵的基本參數(shù)確定
6.4.1極限壓力
6.4.2抽氣速率
6.4.3功率
6.5單級(jí)旋片真空泵設(shè)計(jì)案例
6.5.1基本參數(shù)的選取
6.5.2主要幾何尺寸的計(jì)算
習(xí)題
第7章滑閥真空泵
7.1滑閥真空泵的工作原理
7.2滑閥真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
7.3滑閥真空泵的基本參數(shù)和主要尺寸確定
習(xí)題
第8章低溫真空泵
8.1低溫真空泵的種類
8.2低溫真空泵的工作原理
8.3低溫真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
8.4低溫真空泵的基本參數(shù)確定
8.4.1極限壓力
8.4.2抽速
8.4.3排氣量
8.4.4制冷時(shí)間、功率及溫度
習(xí)題
第9章分子真空泵
9.1分子真空泵的種類
9.1.1基于轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)特征的分類
9.1.2基于軸承特性不同的分類
9.2分子真空泵的工作原理
9.2.1牽引分子真空泵的工作原理
9.2.2渦輪分子真空泵的工作原理
9.3渦輪分子真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
習(xí)題
第10章真空系統(tǒng)
10.1真空室
10.2真空測(cè)量
10.3真空閥門
10.4真空機(jī)組
10.4.1低真空機(jī)組
10.4.2中真空機(jī)組
10.4.3高真空機(jī)組
10.4.4超高真空機(jī)組
10.5真空系統(tǒng)性能實(shí)驗(yàn)裝置
10.5.1容積式真空泵標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試臺(tái)
10.5.2真空泵（機(jī)組）性能研究實(shí)驗(yàn)臺(tái)
10.6真空系統(tǒng)的抽氣時(shí)間
10.6.1粗真空、低真空下的抽氣時(shí)間
10.6.2高真空下的抽氣時(shí)間
10.6.3真空室壓力下降時(shí)的抽氣時(shí)間
10.7選泵與配泵
習(xí)題
第11章真空設(shè)備
11.1真空干燥設(shè)備
11.2真空鍍膜設(shè)備
11.3真空包裝設(shè)備
11.4真空輸送設(shè)備
11.5真空過濾設(shè)備
11.6真空絕熱設(shè)備
11.7真空熱處理設(shè)備
參考文獻(xiàn)