本書是“微機電系統(tǒng)”課程的配套教材，系統(tǒng)介紹了微機電系統(tǒng)的特點及應(yīng)用前景、微機電系統(tǒng)的材料、微機電系統(tǒng)的加工、微機電系統(tǒng)的組成、微機電系統(tǒng)的設(shè)計及測試，重點介紹了適合于微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計的柔順機構(gòu)和平面折展機構(gòu)的分析和設(shè)計方法。各章末均附有復(fù)習(xí)思考題，便于學(xué)生掌握所學(xué)知識。本書為高等院校機械類專業(yè)的本科生教學(xué)用書，也可供相關(guān)專業(yè)的工程技術(shù)人員和研究人員參考�！�…………………………………………………………………………………………………………………