關(guān)于我們
書單推薦
新書推薦
|
半導(dǎo)體微納制造技術(shù)及器件 讀者對象:本書可供半導(dǎo)體微納領(lǐng)域的研究生以及科研人員使用和參考。
本書基于課題組的研究成果和研究方向,對目前主流采用的半導(dǎo)體微納制造技術(shù)進(jìn)行歸納,結(jié)合已得到驗(yàn)證的理論進(jìn)行部分機(jī)理的論述,結(jié)合半導(dǎo)體微納光電器件的發(fā)展現(xiàn)狀闡述半導(dǎo)體微納器件的應(yīng)用及發(fā)展趨勢。首先對半導(dǎo)體微納器件的制造技術(shù)從圖形化襯底技術(shù)、外延生長技術(shù)和刻蝕技術(shù)三方面進(jìn)行系統(tǒng)的概述,然后對器件的電注入機(jī)理及等離子基元局域增強(qiáng)效應(yīng)進(jìn)行機(jī)理論述,最后結(jié)合新型半導(dǎo)體器件歸納半導(dǎo)體微納器件的功能及發(fā)展。
更多科學(xué)出版社服務(wù),請掃碼獲取。
你還可能感興趣
我要評論
|