半導(dǎo)體傳感器原理與應(yīng)用
定 價(jià):59 元
叢書名:高等學(xué)校計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)教育教材精選
章 傳感器的基礎(chǔ)知識(shí)1.1 傳感器的基本概念1.2 傳感器的一般特性1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性1.2.2 傳感器的動(dòng)態(tài)特性1.3 傳感器的標(biāo)定1.3.1 傳感器的靜態(tài)標(biāo)定1.3.2 傳感器的動(dòng)態(tài)標(biāo)定1.4 提高傳感器性能的方法 小結(jié) 習(xí)題第2章 半導(dǎo)體傳感器敏感材料及典型工藝2.1 半導(dǎo)體材料2.1.1 硅材料特性2.1.2 主要的硅化合物2.2 電子陶瓷2.2.1 電子陶瓷的特性2.2.2 電子陶瓷的制備工藝2.2.3 電子陶瓷的應(yīng)用2.3 有機(jī)敏感材料2.4 金屬敏感材料2.5 常用加工技術(shù)2.5.1 光刻工藝2.5.2 腐蝕工藝2.5.3 鍵合技術(shù)2.5.4 微機(jī)械加工技術(shù)2.5.5 LIGA技術(shù) 小結(jié) 習(xí)題第3章 半導(dǎo)體氣敏元件與傳感器3.1 金屬氧化物的半導(dǎo)體化3.2 表面電阻控制型氣敏元件3.2.1 燒結(jié)型SnO2氣敏元件的結(jié)構(gòu)3.2.2 厚膜型和薄膜型SnO2氣敏元件的結(jié)構(gòu)3.2.3 SnO2表面電阻控制型氣敏元件的工作原理3.2.4 氣敏元件的特性參數(shù)3.2.5 SnO2氣敏元件的主要特性3.2.6 燒結(jié)型SnO2氣敏元件的制備T藝3.3 氧化鋅(ZnO)表面電阻控制型氣敏元件3.4 體電阻控制型氣敏元件3.4.1 氧化鐵(Fe2O3)系傳感器3.4.2 半導(dǎo)體氧敏元件3.5 ZrO2濃差電池型氧傳感器3.6 電壓控制型氣敏傳感器3.6.1 肖特基二極管氣敏元件3.6.2 氣敏開關(guān)元件3.6.3 MOS二極管氣敏元件3.7 催化金屬柵場(chǎng)效應(yīng)氣敏傳感器3.7.1 MOSFET的r作原理3.7.2 Pd-MOSFET氫敏元件