碳化硅技術(shù)基本原理 生長(zhǎng)、表征、器件和應(yīng)用
定 價(jià):150 元
叢書名:新型電力電子器件叢書
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- 作者:[日] 木本恒暢(Tsunenobu Kimoto)[美] 詹姆士 A. 庫珀(Ja
- 出版時(shí)間:2018/5/1
- ISBN:9787111586807
- 出 版 社:機(jī)械工業(yè)出版社
- 中圖法分類:TQ174.75
- 頁碼:499
- 紙張:膠版紙
- 版次:1
- 開本:16開
本書是一本有關(guān)碳化硅材料、器件工藝、器件和應(yīng)用方面的書籍,其主題包括碳化硅的物理特性、晶體和外延生長(zhǎng)、電學(xué)和光學(xué)性能的表征、擴(kuò)展缺陷和點(diǎn)缺陷,器件工藝、功率整流器和開關(guān)器件的設(shè)計(jì)理念,單/雙極型器件的物理和特征、擊穿現(xiàn)象、高頻和高溫器件,以及碳化硅器件的系統(tǒng)應(yīng)用,涵蓋了基本概念和新發(fā)展現(xiàn)狀,并針對(duì)每個(gè)主題做深入的闡釋,包括基本的物理特性、新的理解、尚未解決的問題和未來的挑戰(zhàn)。
本書作者在碳化硅研發(fā)領(lǐng)域有著總共45年以上的經(jīng)歷,是當(dāng)今碳化硅研發(fā)和功率半導(dǎo)體領(lǐng)域中的領(lǐng)軍人物。通過兩位專家的執(zhí)筆,全景般展示了碳化硅領(lǐng)域的知識(shí)和進(jìn)展。目前,隨著碳化硅基功率器件進(jìn)入實(shí)用化階段,本書的翻譯出版對(duì)于大量已經(jīng)進(jìn)入和正在進(jìn)入該行業(yè),急需了解掌握該行業(yè)但不諳英語的專業(yè)人士是一本難得的專業(yè)書籍。
本書可以作為從事碳化硅電力電子材料、功率器件及其應(yīng)用方面專業(yè)技術(shù)人員的參考書,也可以作為高等學(xué)校微電子學(xué)與固體物理學(xué)專業(yè)高年級(jí)本科生、研究生的教學(xué)用書或參考書。同時(shí),該書對(duì)于在諸如電力供應(yīng)、換流器-逆變器設(shè)計(jì)、電動(dòng)汽車、高溫電子學(xué)、傳感器和智能電網(wǎng)技術(shù)等方面的設(shè)計(jì)工程師、應(yīng)用工程師和產(chǎn)品經(jīng)理也是有益的。
作為各類電力電子系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件,功率半導(dǎo)體器件受到越來越多的關(guān)注。
功率器件的主要應(yīng)用包括電源、電機(jī)控制、可再生能源、交通、通信、供熱、機(jī)器人技術(shù)及電力傳輸和分配等方面。半導(dǎo)體功率器件在這些系統(tǒng)中的應(yīng)用可以顯著節(jié)省能源,加強(qiáng)化石燃料的節(jié)約,并減少環(huán)境污染。
隨著一些新興市場(chǎng)的出現(xiàn),包括光伏電池和燃料電池的電能變換器、電動(dòng)汽車(EV)和混合動(dòng)力電動(dòng)汽車(HEV)用電能變換器和逆變器,以及智能電力設(shè)備配電網(wǎng)的控制,電力電子在過去的十年里再次引發(fā)全新的關(guān)注。目前,半導(dǎo)體功率器件是未來全球節(jié)能和電能管理的關(guān)鍵推動(dòng)力之一。
在過去的幾十年里,硅功率器件得到了顯著的提升。然而,這些器件正在接近由硅的基本材料特性所限定的性能極限,進(jìn)一步性能的提升只有通過遷移到更強(qiáng)大的半導(dǎo)體材料。碳化硅(SiC) 是一種有著優(yōu)異物理和電氣性能的寬禁帶半導(dǎo)體,適合作為未來的高電壓、低損耗電力電子的基礎(chǔ)。
SiC是一種Ⅳ -Ⅳ族化合物半導(dǎo)體,有著23~33eV的禁帶寬度(取決于晶體結(jié)構(gòu),或多型體),它擁有10倍于Si的擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度、3倍于Si的熱導(dǎo)率,使得SiC對(duì)于大功率和高溫器件具有特別的吸引力。例如,在給定阻斷電壓下,SiC功率器件的通態(tài)電阻比Si器件的要低好幾個(gè)數(shù)量級(jí),這會(huì)大大提高電能變換效率。
SiC的寬禁帶特性和高熱穩(wěn)定性使得某些類型的SiC器件可以在結(jié)溫達(dá)300℃或者更高的溫度下無限期工作而不會(huì)產(chǎn)生可測(cè)量的性能退化。在寬禁帶半導(dǎo)體中,SiC是比較特殊的,因?yàn)樗梢匀菀椎卦诔^5個(gè)數(shù)量級(jí)的范圍進(jìn)行p型或者n型摻雜;另外,SiC是唯一的化合物半導(dǎo)體,其自然氧化物是SiO2,是和硅的自然氧化物一樣的絕緣體,這使得用SiC制造整個(gè)基于MOS(金屬-氧化物-半導(dǎo)體) 家族的電子器件成為可能。
自20世紀(jì)80年代以來,有關(guān)SiC材料和器件技術(shù)的開發(fā)得到了持續(xù)的投入。
基于20世紀(jì)80年代和90年代的多項(xiàng)技術(shù)突破,SiC肖特基勢(shì)壘二極管(SBD)的商業(yè)化產(chǎn)品于2001年成功面世,并且在過去的若干年里,SiCSBD的市場(chǎng)得到了迅速發(fā)展。SBD被應(yīng)用于各種類型的電力系統(tǒng)中,包括開關(guān)電源、光伏變換器及空調(diào)、電梯和地鐵的電機(jī)控制。SiC功率開關(guān)器件的商業(yè)化生產(chǎn)開始于2006~2010年間,主要有JFET(結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)晶體管) 和MOSFET(金屬-氧化物-半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管)。這些器件得到了市場(chǎng)廣泛接受,現(xiàn)在,很多行業(yè)已經(jīng)開始利用這些SiC功率開關(guān)器件所帶來的好處。作為一個(gè)例子,根據(jù)SiC元器件應(yīng)用的程度,一個(gè)電源或逆變器的體積和重量可以減少4~10倍。除了尺寸和重量方面的減少外,使用SiC元器件還可以使功耗也得到了大幅降低,從而使電力變換系統(tǒng)的效率得到顯著提高。
近年來,SiC專業(yè)社團(tuán)在學(xué)術(shù)界和工業(yè)界發(fā)展迅猛,越來越多的公司在致力于發(fā)展SiC晶圓和/或器件的生產(chǎn)制造能力,相關(guān)的年輕科學(xué)家和工程師的數(shù)量也在與日俱增。然而,現(xiàn)在幾乎沒有教科書在從材料到器件再到應(yīng)用這樣寬的范圍內(nèi)涵蓋SiC技術(shù),因此,這些科學(xué)家、工程師和研究生會(huì)是本書的潛在讀者。作者也希望本書對(duì)這些讀者來說是及時(shí)的和有益的,并使得他們可以迅速獲得在此領(lǐng)域內(nèi)實(shí)踐所需的基本知識(shí)。由于本書同時(shí)包涵了基礎(chǔ)和高級(jí)概念,需要讀者有一定的半導(dǎo)體物理及器件基礎(chǔ),不過,對(duì)于材料科學(xué)或者電氣工程專業(yè)的研究生來說,閱讀本書將不會(huì)有困難。
本書所涉及的主要內(nèi)容包括SiC的物理特性、晶體和外延生長(zhǎng)、電學(xué)和光學(xué)性能的表征、擴(kuò)展缺陷和點(diǎn)缺陷、器件工藝、功率整流器和開關(guān)器件的設(shè)計(jì)理念、單/雙極型器件的物理和特征、擊穿現(xiàn)象、高頻和高溫器件以及SiC器件的系統(tǒng)應(yīng)用,涵蓋了基本概念和最新發(fā)展現(xiàn)狀。特別是,我們力圖對(duì)每個(gè)主題做深入的闡釋,包括基本的物理特性、最新的理解、尚未解決的問題和未來的挑戰(zhàn)。
最后,本書作者致謝這一領(lǐng)域的一些同事和先驅(qū),特別感謝WJChoyke教授(匹茲堡大學(xué))、HMatsunami榮譽(yù)教授(京都大學(xué))、GPensl博士(埃爾蘭根-紐倫堡大學(xué),已故)、EJanzén教授(林雪平大學(xué))和JWPalmour博士(科銳公司),感謝他們對(duì)本領(lǐng)域和我們對(duì)本領(lǐng)域的認(rèn)識(shí)的寶貴貢獻(xiàn);我們也對(duì)Wiley出版社的JamesMurphy先生和ClarissaLim女士的指導(dǎo)和耐心表示感謝。最后,我們要感謝我們的家人在寫作本書時(shí)給予的體貼支持和鼓勵(lì),沒有他們的支持和理解,就不會(huì)有本書的出版。
木本恒暢詹姆士A.庫珀
本書的作者TsunenobuKimoto是京都大學(xué)電子科學(xué)與工程系的一名教授,長(zhǎng)期
從事碳化硅材料、表征、器件工藝以及功率器件等方面的研究,是日本碳化硅界的
領(lǐng)軍人物,在碳化硅的外延生長(zhǎng)、光學(xué)和電學(xué)特性表征、缺陷電子學(xué)、離子注入、
金屬-氧化物-半導(dǎo)體(MOS) 物理和高電壓器件等方面均有建樹。
而另一位作
者,美國(guó)普渡大學(xué)電氣與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院的JamesACooper則是一位半導(dǎo)體界的元
老級(jí)人物,他在MOS器件、IC及包括硅和碳化硅在內(nèi)的功率器件方面都有研究和
建樹,特別是碳化硅基UMOSFET、肖特基二極管、UMOSFET、橫向DMOSFET、
BJT和IGBT等的開發(fā)做出了突出貢獻(xiàn)。
譯者序
原書前言
原書作者簡(jiǎn)介
第1章 導(dǎo)論1
�。�.1 電子學(xué)的進(jìn)展1
�。�.2 碳化硅的特性和簡(jiǎn)史3
1.2.1 早期歷史3
�。�.2.2 SiC晶體生長(zhǎng)的革新4
�。�.2.3�。樱椋霉β势骷那熬昂驼故荆�
�。�.3 本書提綱6 參考文獻(xiàn)7
第2章 碳化硅的物理性質(zhì)10
第3章 碳化硅晶體生長(zhǎng)36
第4章 碳化硅外延生長(zhǎng)70
第5章 碳化硅的缺陷及表征技術(shù)117
第6章 碳化硅器件工藝177
第7章 單極型和雙極型功率二極管262
第8章 單極型功率開關(guān)器件286
第9章 雙極型功率開關(guān)器件336
9.1 雙極結(jié)型晶體管(BJT) 336
�。�.1.1 內(nèi)部電流337
9.1.2 增益參數(shù)338
�。�.1.3 端電流340
�。�.1.4 電流-電壓關(guān)系341
�。�.1.5 集電區(qū)中的大電流效應(yīng):飽和和準(zhǔn)飽和343
9.1.6 基區(qū)中的大電流效應(yīng):Rittner效應(yīng)347
�。�.1.7 集電區(qū)的大電流效應(yīng):二次擊穿和基區(qū)擴(kuò)散效應(yīng)351
9.1.8 共發(fā)射極電流增益:溫度特性353
�。�.1.9 共發(fā)射極電流增益:復(fù)合效應(yīng)353
�。�.1.10 阻斷電壓355
�。�.2 絕緣柵雙極型晶體管(IGBT) 356
�。�.2.1 電流-電壓關(guān)系357
�。�.2.2 阻斷電壓367
9.2.3 開關(guān)特性368
�。�.2.4 器件參數(shù)的溫度特性373
9.3 晶閘管375
�。�.3.1 正向?qū)J剑常罚?
�。�.3.2 正向阻斷模式和觸發(fā)381
9.3.3 開通過程386
�。�.3.4�。洌郑洌粲|發(fā)388
�。�.3.5�。洌桑洌舻南拗疲常福�
9.3.6 關(guān)斷過程390
�。�.3.7 反向阻斷模式397
參考文獻(xiàn)397
第10章 功率器件的優(yōu)化和比較398
第11章 碳化硅器件在電力系統(tǒng)中的應(yīng)用425
第12章 專用碳化硅器件及應(yīng)用466
附錄490
附錄A�。矗龋樱椋弥械牟煌耆s質(zhì)電離490
參考文獻(xiàn)494
附錄B 雙曲函數(shù)的性質(zhì)494
附錄C 常見SiC多型體主要物理性質(zhì)497
�。�.1 性質(zhì)497
�。�.2 主要物理性質(zhì)的溫度和/或摻雜特性498
參考文獻(xiàn)499