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半導(dǎo)體的檢測與分析(第二版) 讀者對象:本書適合半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)的科研工作者、研究生、高年級大學本科生
本書的主要內(nèi)容包括:高分辨X射線衍射,光學性質(zhì)檢測分析,表面和薄膜成分分析,掃描探針顯微學在半導(dǎo)體中的運用,透射電子顯微學及其在半導(dǎo)體研究中的應(yīng)用,半導(dǎo)體深中心的表征。以上內(nèi)容包括了目前半導(dǎo)體材料(第三代半導(dǎo)體和低維結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料)物理表征的實驗技術(shù)和具體應(yīng)用成果。限于篇幅,不能面面俱到,所以有些實驗技術(shù),如LEED,RHEED,SIMS等,本書并未包括在內(nèi),這些問題將在第一章綜述里面簡略闡述
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