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薄膜晶體管液晶顯示器顯示原理與設(shè)計(全彩)
本書基于薄膜晶體管液晶顯示器的生產(chǎn)和設(shè)計實踐,首先介紹了薄膜晶體管液晶顯示器的基本概念和器件原理,然后以產(chǎn)品開發(fā)的角度從面板設(shè)計與驅(qū)動、液晶盒顏色設(shè)計、液晶光學設(shè)計、電路設(shè)計和機構(gòu)光學設(shè)計方面的基礎(chǔ)內(nèi)容進行了詳細介紹,接著介紹了顯示器的性能測試方法,最后再介紹了陣列、彩膜、液晶盒和模組四大工藝制程。
序
互聯(lián)網(wǎng)正像水和空氣一樣,日益成為人們工作、生活不可或缺的媒介,其與各行各業(yè)的融合,正深刻地改變著人類社會及其生態(tài),其背后推動力量之一就是顯示技術(shù)的進步。 CRT技術(shù)推動了人類歷史上第一次顯示革命,拓展了人類社會信息傳遞、交流的范圍和形式。以TFT-LCD技術(shù)為代表的新型顯示技術(shù),推動了顯示領(lǐng)域的第二次革命,在實現(xiàn)信息傳遞方式多樣性、顯示品質(zhì)高質(zhì)化的同時,讓任何時間、地點、人、設(shè)備、網(wǎng)絡(luò)、數(shù)據(jù)的交互成為現(xiàn)實,催生了互聯(lián)網(wǎng)時代的到來。TFT-LCD等新型顯示技術(shù)的共同基礎(chǔ)是半導體技術(shù),我前些年提出將TFT-LCD、AMOLED、柔性顯示、立體顯示、虛擬實境等新型顯示技術(shù)統(tǒng)稱為“半導體顯示技術(shù)”。半導體顯示技術(shù)和產(chǎn)品可以持續(xù)改善用戶體驗,其新技術(shù)、新材料、新工藝的不斷進化,還可為系統(tǒng)產(chǎn)品提供集成和創(chuàng)新平臺,從而改變信息產(chǎn)業(yè)生態(tài)和商業(yè)模式。正因為如此,日、韓等國家和我國臺灣地區(qū)將該產(chǎn)業(yè)定位為國家/地區(qū)重要戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè);美歐國家仍在核心材料、裝備及下一代延伸技術(shù)方面給予了戰(zhàn)略性關(guān)注和投入。 這場顯示革命對中國影響巨大。20世紀80年代,國家將CRT作為發(fā)展電子信息產(chǎn)業(yè)的重要突破口,并取得重大成功;但在TFT-LCD取代CRT的第二次革命過程中,我們比其他國家起步晚了近十年,經(jīng)歷了“缺芯少屏”之痛?上驳氖,自2003年以來,京東方、天馬、龍騰、華星光電、中電熊貓等中國顯示器件制造企業(yè),歷經(jīng)磨難,奮斗拼搏,成功進入了半導體顯示產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,擁有了4.5代、5代、6代和8.5代TFT-LCD生產(chǎn)線,5.5代AMOLED的產(chǎn)線也已經(jīng)建成投產(chǎn),年新增專利申請數(shù)量也位居全球前列。上游材料和設(shè)備的本地化配套快速進展,改善了下游整機企業(yè)關(guān)鍵部件的本地化配套環(huán)境。我國顯示產(chǎn)業(yè)的全球影響力和競爭力不斷上升,已經(jīng)成為全球半導體顯示產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的一支重要力量。 中國半導體顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展初期,產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)薄弱,加上過山車般周期影響,價格大起大落,日子艱難。在這一階段,為了能生存下去,我在2010年初提出:標準顯示屏價格每36個月會下降50%,若保持價格不變,顯示產(chǎn)品性能必須提升一倍以上。這一周期還將繼續(xù)縮短。我將其稱為“生存定律”,核心內(nèi)涵就是持續(xù)創(chuàng)新才能生存發(fā)展。遵循這一定律,中國顯示產(chǎn)業(yè)渡過了艱難階段,實現(xiàn)了良性發(fā)展。創(chuàng)新是發(fā)展的根本推動力。 隨著物聯(lián)網(wǎng)和人工智能產(chǎn)業(yè)的興起,顯示技術(shù)正迎來新的應用浪潮。車載、工控、醫(yī)療、穿戴、公共顯示、虛擬現(xiàn)實和增強現(xiàn)實等將成為新一波應用浪潮的主力軍。在新技術(shù)、新應用引領(lǐng)下,全球顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展前景依然廣闊。 十余年磨一劍,顯示產(chǎn)業(yè)是目前我國為數(shù)不多的有可能處于世界領(lǐng)先地位的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)之一,但依然面臨著各種挑戰(zhàn)。從模仿性創(chuàng)新邁向顛覆性創(chuàng)新,搶占未來顯示技術(shù)制高點,是我們必須要跨越的一關(guān)。我們不能滿足于現(xiàn)狀,必須不斷創(chuàng)新觀念、技術(shù)和應用,引領(lǐng)這個變革的新時代,為中國,為整個世界! 實現(xiàn)上述愿景,需要政府、企業(yè)、高校和研究機構(gòu)等各界攜手努力。在人才培養(yǎng)和知識普及方面,更需要走在前面。廖燕平、宋勇志、邵喜斌、劉磊和陳東川等京東方同仁們在繁忙工作之余,撰寫了《薄膜晶體管液晶顯示器顯示原理與設(shè)計》一書,供有志于顯示產(chǎn)業(yè)的學生、工程技術(shù)和管理人員參考。這本書以產(chǎn)業(yè)人學習的視角,側(cè)重實際應用,對液晶顯示器的基本概念、面板設(shè)計、工藝制程各個環(huán)節(jié)進行了介紹。相信此書對顯示產(chǎn)業(yè)人才培養(yǎng)會有所幫助。 我愿意向有志于顯示領(lǐng)域的青年學生、科研人員、業(yè)內(nèi)伙伴和各界人士推薦這本書。這不僅是一本書,也是幾代中國科技工作者和產(chǎn)業(yè)人發(fā)展中國自主技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的夢想和情懷。 京東方科技集團董事長 2016年3月18日 前 言 平板顯示產(chǎn)業(yè)在中國大陸迅猛發(fā)展,一方面更多的大學畢業(yè)生涌入面板制造企業(yè),另一方面也給員工提供了更多的發(fā)展空間,但迫切需要解決的是如何讓新入職員工快速掌握崗位基本技能,如何讓技術(shù)管理干部具有全方位的技術(shù)基礎(chǔ)能力。本書就是基于這個背景,從液晶顯示的基本概念、基本原理出發(fā),涵蓋了薄膜晶體管的材料和器件特性、薄膜晶體管設(shè)計、液晶盒設(shè)計、驅(qū)動電路設(shè)計、機構(gòu)光學設(shè)計,以及器件測試和四大工藝制程的相關(guān)內(nèi)容,讓讀者全方位、全角度地理解液晶顯示器的基本知識。 基于本書的內(nèi)容結(jié)構(gòu),第1章介紹了液晶顯示器的基本知識,包括立體顯示的基本概念;第2章介紹了薄膜晶體管的材料與器件特性;第3章介紹了液晶面板的設(shè)計與驅(qū)動;第4章和第5章分別介紹了液晶盒設(shè)計相關(guān)的顏色設(shè)計和液晶光學設(shè)計;第6章介紹了驅(qū)動電路設(shè)計;第7章介紹了液晶模組的機構(gòu)與光學設(shè)計;第8章介紹了液晶顯示器的性能測試;第9章到第12章分別介紹了陣列、彩膜、成盒和模組四大工藝制程;附錄A介紹了薄膜晶體管器件參數(shù)提取與實例;附錄B介紹了掩模版版圖設(shè)計驗證工具與應用。 本書的撰寫,是我們幾位作者在繁忙的工作之外,以犧牲大量的業(yè)余和休息時間才完成的。此外,本書的每個章節(jié),還得到了相關(guān)崗位的專家或資深工程師的幫助,在此表示誠摯的感謝:(1)工藝制程章節(jié),感謝袁劍峰、許朝欽(中國臺灣)、陳信誠(中國臺灣)、陳宇鵬、郭宏雁、董天松、郭會斌、王守坤、周波、馬國靖、吳洪江、汪棟、萬冀豫、黃常剛、儲小亮和張紀等同事;(2)器件性能測試章節(jié),感謝劉冬和陳維濤等同事;(3)設(shè)計章節(jié),感謝張振宇、高玉杰、王寶強、閆巖、夏天宇、商廣良、占紅明、林麗峰、杜玙蕃、陳明、栗首、汪建明、郝衛(wèi)、冷長林、周昊、張偉、賈麗麗、黃應龍和呂敬等同事;(4)基本概念和器件章節(jié),感謝王夢杰、武延兵、林洪濤、袁劍峰和薛建設(shè)等同事;(5)附錄A器件參數(shù)提取章節(jié),感謝Silvaco的常志強;(6)附錄B設(shè)計驗證章節(jié),感謝華大九天的常江和李曉坤。最后,感謝上海大學新型顯示技術(shù)及應用集成教育部重點實驗室的技術(shù)支持。 本書由北京交通大學/北京京東方顯示技術(shù)有限公司的廖燕平主要編寫,由北京京東方顯示技術(shù)有限公司的宋勇志、邵喜斌(研究員)、劉磊和陳東川協(xié)助編寫,由北京交通大學的張希清(教授)和上海大學的張建華(教授)審校。本書順利出版,感謝北京市優(yōu)秀人才培養(yǎng)和北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)費資助,感謝公司領(lǐng)導的大力支持。本書撰寫過程中,雖然我們力求盡善盡美,但是才學畢竟有限,不妥或疏漏之處在所難免,懇請讀者批評指正。 作者 2016年3月于北京
廖燕平,男,漢族,2007年4月畢業(yè)于中科院長春光機與物理所,獲得博士學位。畢業(yè)后,一直從事薄膜晶體管液晶顯示器的研究與開發(fā),先后發(fā)表論文二十余篇,申請專利十余項。自2009年10月入職北京京東方以來,一直從事大尺寸、高分辨率液晶顯示器的技術(shù)開發(fā)和產(chǎn)品開發(fā)。期間開創(chuàng)性地完成了京東方自主知識產(chǎn)權(quán)的超維場顯示在110英寸4K產(chǎn)品開發(fā)中的陣列和彩膜面板的拼接設(shè)計,實現(xiàn)了超大尺寸、超高分辨率掩膜版的拼接設(shè)計技術(shù);完成了業(yè)內(nèi)尺寸大、分辨率高的98英寸8K液晶顯示陣列和彩膜面板拼接設(shè)計;創(chuàng)新性地提出鏡像掃描驅(qū)動技術(shù)優(yōu)化了超大尺寸面板的畫質(zhì)。以作者身份分別在IMID2013和IMID2014國際會議上發(fā)表了110英寸和98英寸(邀請報告)顯示器產(chǎn)品相關(guān)研究開發(fā)成果,并且是IMID“Large Area Display”和“Image Quality Evaluation and Enhancement”分會委員。獲得2015年度北京市科技獎一等獎(排名第五)。
第1章 液晶顯示的基本概念 1
1.1 液晶簡介 1 1.2 液晶的特性 2 1.2.1 電學各向異性 2 1.2.2 光學各向異性 3 1.2.3 力學特性 4 1.2.4 其他特性 4 1.3 偏光片 5 1.3.1 偏光片的基本原理 5 1.3.2 偏光片的基本構(gòu)成 6 1.3.3 偏光片的參數(shù) 9 1.3.4 偏光片的表面處理 11 1.4 玻璃基板 12 1.5 液晶顯示的基本原理 12 1.5.1 液晶顯示器的基本結(jié)構(gòu) 12 1.5.2 液晶顯示原理 13 1.6 顯示器的光電特性 14 1.6.1 透過率 14 1.6.2 對比度 15 1.6.3 響應時間 15 1.6.4 視角 16 1.6.5 色域 16 1.6.6 色溫 17 1.7 畫質(zhì)改善技術(shù) 17 1.7.1 量子點技術(shù) 17 1.7.2 高動態(tài)范圍圖像技術(shù) 18 1.7.3 局域調(diào)光技術(shù) 18 1.7.4 姆拉擦除技術(shù) 19 1.7.5 運動圖像補償技術(shù) 19 1.7.6 幀頻轉(zhuǎn)換技術(shù) 20 1.8 立體顯示技術(shù)原理 21 1.8.1 雙眼視差 21 1.8.2 立體顯示技術(shù)分類 23 1.8.3 眼鏡式3D顯示技術(shù) 24 1.8.4 裸眼3D顯示技術(shù) 28 1.8.5 3D顯示的主要問題 33 第2章 氫化非晶硅薄膜晶體管材料與器件特性 34 2.1 氫化非晶硅薄膜的特點 34 2.1.1 原子排列和電子的態(tài)密度 34 2.1.2 氫化非晶硅的導電機理 37 2.1.3 氫化非晶硅的亞穩(wěn)定性 39 2.2 絕緣層材料的特點 40 2.2.1 氮化硅 41 2.2.2 氧化硅 41 2.2.3 絕緣層的導電機理 42 2.3 薄膜沉積 45 2.3.1 概述 46 2.3.2 a-Si:H薄膜的沉積 46 2.3.3 a-Si:H薄膜的影響因素 47 2.3.4 n+ a-Si:H薄膜的沉積 52 2.3.5 絕緣層薄膜的沉積 52 2.3.6 薄膜的界面效應 55 2.4 薄膜刻蝕 57 2.4.1 導電薄膜的刻蝕 57 2.4.2 功能薄膜的刻蝕 58 2.5 TFT器件結(jié)構(gòu)與特點 59 2.5.1 底柵結(jié)構(gòu) 60 2.5.2 頂柵結(jié)構(gòu) 62 2.5.3 器件基本特性 62 2.6 器件電學性能的不穩(wěn)定性 65 2.7 薄膜評價方法 66 2.7.1 傅里葉變換紅外光譜 66 2.7.2 紫外線-可見光譜 67 2.7.3 恒定光電流方法 68 2.7.4 拉曼光譜 69 2.7.5 橢偏儀 69 第3章 液晶面板設(shè)計與驅(qū)動 70 3.1 顯示屏的構(gòu)成 70 3.1.1 顯示區(qū) 70 3.1.2 密封區(qū) 76 3.1.3 襯墊區(qū) 77 3.1.4 特征標記 78 3.2 玻璃基板上薄膜的邊界條件 79 3.2.1 彩膜基板上的邊界條件 79 3.2.2 陣列基板上的邊界條件 80 3.3 液晶顯示模式與原理 80 3.3.1 液晶顯示模式 80 3.3.2 液晶顯示光閥原理 82 3.4 曝光工藝技術(shù) 85 3.4.1 掩模版 85 3.4.2 曝光機類型 86 3.4.3 光刻工藝 87 3.4.4 五次/四次光刻工藝過程 88 3.4.5 光透過率調(diào)制掩模版技術(shù) 89 3.5 像素設(shè)計原理 91 3.5.1 電容 91 3.5.2 像素中電阻計算 100 3.5.3 TFT性能要求 101 3.5.4 像素充電率模擬 105 3.6 面板的驅(qū)動 107 3.6.1 面板的電路驅(qū)動原理圖 107 3.6.2 極性反轉(zhuǎn)驅(qū)動 108 3.7 GOA驅(qū)動原理 113 3.7.1 GOA基本概念 113 3.7.2 GOA工作原理 114 3.7.3 GOA設(shè)計 120 3.7.4 GOA的模擬仿真 126 3.7.5 GOA設(shè)計的其他考慮 131 第4章 液晶顯示顏色基礎(chǔ) 132 4.1 色度基礎(chǔ) 132 4.1.1 可見光譜 132 4.1.2 輻射度與光度 133 4.1.3 顏色的辨認 135 4.1.4 顏色三要素 136 4.2 顏色的表征 138 4.2.1 格拉斯曼混合定律 138 4.2.2 光譜三刺激值 139 4.2.3 色坐標計算 144 4.2.4 均勻色度系統(tǒng)及色差 146 4.3 液晶顯示的顏色參數(shù)及計算 148 4.3.1 顏色再現(xiàn)原理 148 4.3.2 色坐標和亮度計算 148 4.3.3 灰階與色深 150 4.3.4 色域計算 150 4.3.5 色溫計算 152 第5章 液晶光學設(shè)計基礎(chǔ) 154 5.1 概述 154 5.1.1 液晶盒的主要參數(shù) 154 5.1.2 常見的液晶顯示模式 155 5.2 透過率 156 5.2.1 液晶光學偏振原理 156 5.2.2 不同顯示模式的透過率 168 5.3 對比度和視角 176 5.3.1 對比度和視角的影響因素 176 5.3.2 不同模式下的對比度和視角 178 5.4 閾值電壓和響應時間 183 5.4.1 液晶電學和力學原理 183 5.4.2 不同顯示模式的閾值電壓和響應時間 186 5.5 工作溫度對液晶的影響 189 5.6 液晶參數(shù)對顯示影響概述 190 第6章 驅(qū)動電路系統(tǒng)設(shè)計基礎(chǔ) 191 6.1 模組驅(qū)動電路系統(tǒng) 191 6.1.1 OC的驅(qū)動電路 191 6.1.2 LED背光源的驅(qū)動電路 193 6.2 電源管理集成電路 196 6.2.1 Buck電路 197 6.2.2 Boost電路 198 6.2.3 Buck-Boost電路 200 6.2.4 LDO電路 201 6.2.5 電荷泵電路 202 6.2.6 VCOM電路 204 6.2.7 多階柵驅(qū)動電路 204 6.3 時序控制器 205 6.3.1 時序控制器概述 205 6.3.2 接口信號特點 207 6.3.3 LVDS接口 210 6.3.4 eDP接口 213 6.3.5 mini-LVDS接口 213 6.3.6 Point to Point接口 215 6.3.7 V-by-One接口 215 6.4 數(shù)據(jù)驅(qū)動集成電路 216 6.4.1 數(shù)據(jù)驅(qū)動集成電路概述 216 6.4.2 雙向移位寄存器 218 6.4.3 數(shù)據(jù)緩沖器 219 6.4.4 電平轉(zhuǎn)換器 220 6.4.5 數(shù)模轉(zhuǎn)換器 221 6.4.6 緩沖器和輸出多路轉(zhuǎn)換器 222 6.4.7 預充電電路 223 6.4.8 電荷分享電路 224 6.5 掃描驅(qū)動集成電路 225 6.5.1 掃描驅(qū)動集成電路概述 225 6.5.2 掃描驅(qū)動集成電路時序 226 6.5.3 XAO電路 226 6.6 Gamma電路與調(diào)試 227 6.6.1 Gamma電路 228 6.6.2 Gamma數(shù)值計算 229 6.6.3 Gamma電壓調(diào)試 229 6.7 ACC調(diào)試 232 6.8 ODC調(diào)試 233 6.9 電視整機電路驅(qū)動系統(tǒng)概述 235 第7章 機構(gòu)光學設(shè)計基礎(chǔ) 240 7.1 熒光燈光源 241 7.2 發(fā)光二極管光源 243 7.2.1 LED的基本特點 243 7.2.2 LED的分類與光譜 245 7.2.3 LED的I-V特性 247 7.2.4 LED的輻射參數(shù) 248 7.2.5 LED的光電特性 250 7.3 光學膜材 253 7.3.1 反射片 254 7.3.2 導光板 254 7.3.3 擴散板 257 7.3.4 擴散片 257 7.3.5 棱鏡片 258 7.3.6 反射型偏光增亮膜 260 7.4 背光模組結(jié)構(gòu) 261 7.4.1 直下式背光結(jié)構(gòu) 262 7.4.2 側(cè)光式背光結(jié)構(gòu) 262 7.5 機構(gòu)部品材料特點 264 7.5.1 金屬部品的特點 264 7.5.2 非金屬部品的特點 265 7.5.3 機構(gòu)設(shè)計對散熱的影響 265 7.5.4 包裝材料的特點 265 7.6 能耗標準 266 第8章 液晶顯示器性能測試 268 8.1 TFT電學性能測試 268 8.1.1 TFT特性參數(shù)測試儀 268 8.1.2 被測樣品準備 269 8.1.3 參數(shù)定義 269 8.1.4 TFT轉(zhuǎn)移特性曲線測試 270 8.1.5 TFT輸出特性曲線測試 273 8.1.6 TFT的光偏壓應力測試 274 8.1.7 TFT的熱偏壓應力測試 275 8.1.8 TFT的電偏壓應力測試 276 8.2 顯示器光學特性測試 278 8.2.1 亮度及亮度均勻性測試 279 8.2.2 對比度測試 279 8.2.3 視角測試 280 8.2.4 色度學測試 281 8.3 響應時間測試 284 8.3.1 灰階響應時間測試 284 8.3.2 動態(tài)響應時間測試 285 8.4 閃爍測試 285 8.4.1 JEITA測試法 285 8.4.2 FMA測試法 286 8.5 泛綠測試 286 8.6 串擾測試 287 8.7 殘像測試 288 8.8 VT曲線測試 289 8.9 Gamma曲線測試 290 第9章 陣列制造工程 292 9.1 陣列制造工程概述 292 9.2 濺射 294 9.3 磁控濺射 296 9.3.1 磁控濺射的特點 296 9.3.2 工藝條件對沉積薄膜的影響 297 9.4 等離子體增強化學氣相沉積 299 9.4.1 薄膜沉積基本過程 299 9.4.2 沉積SiNx薄膜 300 9.4.3 沉積a-Si:H薄膜 301 9.4.4 沉積n+ a-Si:H薄膜 303 9.5 光刻膠的涂布與顯影工藝 303 9.5.1 光刻膠材料特性 303 9.5.2 光刻膠涂布工藝 304 9.5.3 光刻膠顯影工藝 304 9.5.4 光刻膠剝離工藝 305 9.6 干法刻蝕工藝 306 9.6.1 干法刻蝕基本原理 306 9.6.2 干法刻蝕種類 306 9.7 濕法刻蝕 310 9.8 陣列不良的檢測與修復 312 9.8.1 檢測與修復概述 312 9.8.2 自動光學檢查 313 9.8.3 斷路/短路檢查 316 9.8.4 陣列綜合檢測 318 9.8.5 陣列不良修復 320 第10章 彩膜制造工程 322 10.1 彩膜制造工程概述 322 10.2 光刻膠的主要組分與作用 323 10.2.1 顏料 323 10.2.2 分散劑 325 10.2.3 堿可溶性樹脂 326 10.2.4 感光樹脂 327 10.2.5 光引發(fā)劑 328 10.2.6 有機溶劑 328 10.2.7 其他添加劑 328 10.3 彩膜制作工藝流程 328 10.4 彩膜中各層薄膜的特性 330 10.4.1 黑矩陣 330 10.4.2 色阻 331 10.4.3 平坦化層 332 10.4.4 透明導電薄膜 332 10.4.5 柱狀隔墊物 333 10.5 彩膜制程各工藝特點 335 10.5.1 清洗 335 10.5.2 涂布工藝 336 10.5.3 前烘工藝 338 10.5.4 曝光工藝 338 10.5.5 顯影工藝 339 10.5.6 后烘工藝 339 10.6 不良的檢測與修復 340 10.6.1 不良的檢測 340 10.6.2 不良的修復 341 10.7 再工工程 341 10.8 材料測試與評價 342 10.8.1 色度和光學密度 342 10.8.2 對比度 342 10.8.3 色阻的位相差 343 10.8.4 黏度 343 10.8.5 固含量 343 10.8.6 溶劑再溶解性 343 10.8.7 制版性 344 10.8.8 電學特性 345 10.8.9 表面特性測試 346 第11章 液晶盒制造工程 348 11.1 液晶盒制造工程概述 348 11.2 取向?qū)油坎脊に?349 11.2.1 取向?qū)硬牧咸攸c 349 11.2.2 凸版印刷方式 352 11.2.3 噴墨印刷方式 354 11.2.4 熱固化 356 11.3 取向技術(shù) 357 11.3.1 取向機理 357 11.3.2 摩擦取向 358 11.3.3 光控取向 362 11.4 液晶滴注 364 11.5 邊框膠涂布 365 11.6 真空對盒 367 11.7 紫外固化和熱固化 367 11.8 切割和研磨 368 11.9 液晶盒檢測和修復 370 11.10 清洗 372 第12章 模組制造工程 374 12.1 模組制造工程概述 374 12.2 偏光片貼附工藝 375 12.2.1 偏光片貼附 375 12.2.2 加壓脫泡 376 12.3 OLB工藝 376 12.3.1 ACF材料特點 377 12.3.2 COF邦定 378 12.3.3 UV膠涂布 379 12.4 回路調(diào)整 379 12.5 模組組立 380 附錄A 薄膜晶體管的SPICE模型與參數(shù)提取 381 A.1 概述 381 A.2 數(shù)據(jù)獲取 382 A.2.1 工藝參數(shù)的確定 383 A.2.2 閾值電壓的確定 383 A.2.3 場效應遷移率的確定 383 A.2.4 器件開關(guān)比的確定 384 A.2.5 亞閾值斜率的確定 384 A.3 模型參數(shù)的優(yōu)化 384 A.3.1 薄膜晶體管等效電路 385 A.3.2 氫化非晶硅器件模型 385 A.3.3 低溫多晶硅器件模型 386 A.4 模型參數(shù)提取 389 A.4.1 提取工具簡介 389 A.4.2 模型參數(shù)提取實例 393 附錄B 面板設(shè)計流程與驗證工具 403 B.1 設(shè)計流程概述 403 B.1.1 設(shè)計數(shù)據(jù)管理工具 404 B.1.2 電路原理圖設(shè)計 404 B.1.3 電路仿真 406 B.1.4 版圖設(shè)計 409 B.2 版圖驗證 411 B.2.1 DRC驗證 412 B.2.2 ERC驗證 415 B.2.3 LVS驗證 417 B.2.4 LVL驗證 420 參考文獻 421
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