薄膜是一種一維線性尺度遠(yuǎn)小于其他二維尺度的物質(zhì)形態(tài)，在厚度這一特定的方向上尺寸很小，一直可以延伸到單個(gè)分子層（或原子層）。正是基于薄膜的這種特殊的形態(tài)，在制備和研究薄膜的過程中，需要先進(jìn)的技術(shù)手段作為支撐。隨著電子工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，特別是在電子器件領(lǐng)域的發(fā)展，薄膜材料的研究和工業(yè)化得到了極大的推進(jìn)。器件的微型化，使得用于器件的薄膜材料厚度不斷減薄，達(dá)到了納米級(jí)，甚至出現(xiàn)了單層材料，獲得了許多全新的物理性能，這不僅保留了器件原來(lái)功能，并使這些功能得到了加強(qiáng)和拓展。薄膜技術(shù)作為器件微型化的關(guān)鍵技術(shù)，是制備這些新型器件的有效手段。在其他領(lǐng)域薄膜材料也得到了廣泛的應(yīng)用，諸如航天、醫(yī)藥、能源、交通等，薄膜材料與技術(shù)已經(jīng)滲透到了現(xiàn)代科技的各個(gè)重要領(lǐng)域。正是由于薄膜材料及技術(shù)的飛速發(fā)展，要想更好地制備具有優(yōu)異性能、符合某一領(lǐng)域應(yīng)用要求的薄膜材料，必須掌握各種成膜技術(shù)和薄膜物理的基礎(chǔ)知識(shí)。特別是近年來(lái)發(fā)展了一些新的薄膜制備技術(shù)，例如原子層沉積鍍膜技術(shù)、自組裝鍍膜技術(shù)等，是從事薄膜制備和研究的人員需要學(xué)習(xí)和了解的�；�于上述背景，本書系統(tǒng)地介紹了薄膜材料的制備方法及其應(yīng)用實(shí)例。
　　薄膜的研究及制備技術(shù)源于17世紀(jì)，隨后各種制備薄膜的方法相繼誕生。薄膜制備技術(shù)也由最初簡(jiǎn)單的物理蒸發(fā)、化學(xué)反應(yīng)發(fā)展到現(xiàn)如今以物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積為代表的先進(jìn)成膜技術(shù)，其中包括真空蒸鍍、濺射、激光脈沖沉積、分子束外延、化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、自組裝等等。這些薄膜制備方法都有著各自的原理、設(shè)備、優(yōu)缺點(diǎn)和應(yīng)用背景。本書的重點(diǎn)在于介紹薄膜制備原理及設(shè)備、技術(shù)特點(diǎn)與不足、種類、應(yīng)用實(shí)例等方面，使讀者能夠了解每一種薄膜制備工藝概況，并從一些應(yīng)用實(shí)例上加以體會(huì)和分析。
　　在內(nèi)容編排方面，第1章對(duì)真空技術(shù)的基礎(chǔ)知識(shí)做了介紹。第2章到第10章重點(diǎn)介紹和討論了薄膜的各種制備技術(shù)，包括真空蒸發(fā)鍍膜、分子束外延、濺射鍍膜、激光脈沖沉積、離子鍍膜、化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、溶液鍍膜以及自組裝鍍膜，并列舉了典型的薄膜應(yīng)用實(shí)例。
　　本書由西北工業(yè)大學(xué)馮麗萍、劉正堂編著。馮麗萍負(fù)責(zé)本書的編寫立項(xiàng)和統(tǒng)稿，并編寫了第2章、第3章、第6章、第7章、第9章和第10章。劉正堂教授編寫了第1章、第4章、第5章和第8章，并審閱了全部書稿。博士研究生李寧、蘇杰、曾為分別參與了第2章、第4章和第10章的撰寫，碩士研究生李大鵬、孟勇強(qiáng)分別參與了第6章和第9章的撰寫。