《X射線衍射技術(shù)》較為系統(tǒng)地闡述了晶體學(xué)基礎(chǔ),X射線與物質(zhì)作用發(fā)生散射與衍射的理論,單晶與多晶材料的X射線衍射原理與實(shí)驗(yàn)方法,X射線衍射技術(shù)在材料微結(jié)構(gòu)分析方面的應(yīng)用等。書中反映了近年來(lái)X射線衍射領(lǐng)域的新成果,也介紹了非晶態(tài)材料、高分子聚合物材料、薄膜材料的衍射技術(shù)以及同步輻射技術(shù)的應(yīng)用。
《X射線衍射技術(shù)》可作為材料科學(xué)與工程類專業(yè)本科生的專業(yè)教材,也可供相關(guān)專業(yè)如物理、化學(xué)、生物、機(jī)械、核能工程等本科生和研究生作教學(xué)參考書,對(duì)從事X射線衍射工作的科研、測(cè)試人員也具有參考價(jià)值。
利用X射線衍射對(duì)材料進(jìn)行分析,是人們認(rèn)識(shí)物質(zhì)微觀結(jié)構(gòu)的重要途徑和權(quán)威方法之一。自1912年勞厄發(fā)現(xiàn)晶體X射線衍射以來(lái),X射線已被迅速用于單晶材料與多晶材料的結(jié)構(gòu)分析之中。近年來(lái),隨著認(rèn)識(shí)的深入、設(shè)備的發(fā)展和分析技術(shù)的進(jìn)步,X射線衍射技術(shù)被廣泛應(yīng)用于材料微結(jié)構(gòu)分析的各個(gè)方面,如物相分析,點(diǎn)陣參數(shù)測(cè)定,宏觀殘余應(yīng)力、微觀應(yīng)力與微晶尺寸的測(cè)定,織構(gòu)表征,高分子與非晶物質(zhì)的分析,薄膜、纖維等低維材料的分析等,為X射線衍射技術(shù)增添了更為強(qiáng)大的生命力,使其在材料科學(xué)、物理、化學(xué)、生物、制藥、信息等領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用。
本書從X射線衍射技術(shù)的應(yīng)用原理出發(fā),介紹了X射線技術(shù)的發(fā)展歷程與X射線的基本性質(zhì)以及X射線衍射的晶體學(xué)基礎(chǔ),詳細(xì)闡述了X射線與物質(zhì)作用發(fā)生散射的相關(guān)理論,進(jìn)而推導(dǎo)出X射線衍射的理論強(qiáng)度,并基于作者及其合作者多年來(lái)在教學(xué)與研究工作中的認(rèn)識(shí)與體會(huì),分章節(jié)介紹了X射線衍射技術(shù)在實(shí)際材料分析過(guò)程中的應(yīng)用原理與實(shí)例,以期對(duì)讀者掌握X射線衍射技術(shù)的相關(guān)理論、從事相關(guān)的分析工作有所幫助。
全書共16章。第1章為緒論,介紹X射線衍射技術(shù)的發(fā)展歷程與應(yīng)用背景;第2章為X射線的基本性質(zhì),包括X射線的波粒二象性、X射線的產(chǎn)生和譜學(xué)特性以及與物質(zhì)的相互作用等;第3章為晶體學(xué)基礎(chǔ),為探討X射線在晶體中的衍射現(xiàn)象提供基本的晶體學(xué)知識(shí);第4章為X射線的散射、干涉與衍射,為整個(gè)X射線衍射的核心理論基礎(chǔ),詳細(xì)闡述了X射線與物質(zhì)發(fā)生相互作用時(shí)的散射強(qiáng)度與方向,推導(dǎo)出干涉方程、布拉格定律以及點(diǎn)陣消光規(guī)律;第5章為衍射線的強(qiáng)度分析,包括實(shí)際小晶體和多晶體衍射強(qiáng)度的分析以及實(shí)際實(shí)驗(yàn)中影響衍射強(qiáng)度的因素;第6章為多晶體衍射信息的獲取方法,包括早期應(yīng)用的德拜法的分析原理與過(guò)程,后續(xù)發(fā)展并廣泛應(yīng)用的衍射儀的原理與構(gòu)造,多晶衍射的制樣和測(cè)試過(guò)程,以及衍射信息的處理與校正;第7章為單晶體衍射信息的獲取方法,闡述了勞厄法獲取單晶衍射信息的原理、過(guò)程與應(yīng)用,并結(jié)合技術(shù)的發(fā)展,介紹了用于單晶衍射分析的四圓單晶衍射儀以及二維面探測(cè)器;第8章為物相分析,介紹了定性相分析、定量相分析以及計(jì)算機(jī)進(jìn)行全譜擬合和結(jié)構(gòu)精修的原理與過(guò)程;第9章為點(diǎn)陣常數(shù)的測(cè)定,闡明了點(diǎn)陣常數(shù)測(cè)定的基本原理,并討論了衍射儀法的誤差來(lái)源與消除方法;第10章為宏觀應(yīng)力的測(cè)定,分析了宏觀應(yīng)力的測(cè)試原理和衍射儀法測(cè)試的過(guò)程;第11章為微晶尺寸與微觀應(yīng)力的測(cè)定,包含測(cè)定微晶尺寸和微觀應(yīng)力的方法以及二者對(duì)衍射線貢獻(xiàn)的分離方法;第12章為織構(gòu)的測(cè)定,介紹了織構(gòu)的表征方式與測(cè)試過(guò)程;第13章為薄膜材料分析,介紹了針對(duì)薄膜樣品所發(fā)展出來(lái)的一系列測(cè)試方法;第14章為高分子材料分析,分析了X射線衍射技術(shù)在高分子材料結(jié)構(gòu)分析中的應(yīng)用;第15章為非晶材料分析,介紹了非晶材料X射線散射分析的原理與過(guò)程;第16章為同步輻射的應(yīng)用,以實(shí)際研究為例,介紹了同步輻射技術(shù)在材料分析中的應(yīng)用。
本書的撰寫得到了國(guó)內(nèi)材料科學(xué)許多專家學(xué)者的參與和支持,其中包括清華大學(xué)曾飛副教授、宋成副教授、劉雪靜博士。此外,須感謝王英華先生等編著的《X光衍射技術(shù)基礎(chǔ)》一書為本書的編著提供了諸多參考,同時(shí)也要感謝清華大學(xué)材料科學(xué)與工程研究院中心實(shí)驗(yàn)室的陶琨先生、苗偉副教授為本書提供了不少的素材與數(shù)據(jù),給予我們很大的支持。劉雪靜博士、博士生李凡等為本書的審稿和編輯做出重大貢獻(xiàn)。
本書介紹的部分研究成果是作者及其合作者在“973”計(jì)劃、“863”計(jì)劃、國(guó)家自然科學(xué)基金、教育部重大項(xiàng)目、清華大學(xué)教改項(xiàng)目的大力支持下完成的。作者在此謹(jǐn)向所有給予支持的學(xué)者、朋友致以誠(chéng)摯的感謝。
由于對(duì)內(nèi)容的理解有限,書中難免有不妥之處,懇請(qǐng)讀者批評(píng)指正。
編者
2016年6月
潘峰,清華大學(xué)材料學(xué)院,國(guó)際薄膜學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng)、中國(guó)材料研究學(xué)會(huì)常務(wù)理事、中國(guó)晶體學(xué)會(huì)常務(wù)理事、中國(guó)真空學(xué)會(huì)常務(wù)理事、科技部“863”計(jì)劃新材料領(lǐng)域領(lǐng)域?qū)<、\"十三五”國(guó)家新材料領(lǐng)域發(fā)展戰(zhàn)略與規(guī)劃研究召集人,清華大學(xué)教授,博士生導(dǎo)師,是國(guó)家杰出青年科學(xué)基金獲得者,國(guó)家創(chuàng)新人才推進(jìn)計(jì)劃重點(diǎn)領(lǐng)域創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人。1996年晉升教授。曾任清華大學(xué)材料科學(xué)與工程研究院副院長(zhǎng)、先進(jìn)材料教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任、中國(guó)真空學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng),現(xiàn)任國(guó)際薄膜學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng)、中國(guó)材料研究學(xué)會(huì)常務(wù)理事、中國(guó)晶體學(xué)會(huì)常務(wù)理事、中國(guó)真空學(xué)會(huì)常務(wù)理事、科技部“863”計(jì)劃新材料領(lǐng)域?qū)<、\"十三五”國(guó)家新材料領(lǐng)域發(fā)展戰(zhàn)略與規(guī)劃研究召集人。長(zhǎng)期在薄膜材料結(jié)構(gòu)與性能調(diào)控技術(shù)、聲表面波材料與器件、阻變存儲(chǔ)材料、磁性材料等方向開(kāi)展科學(xué)研究,曾獲得2012年國(guó)家自然科學(xué)二等獎(jiǎng)、2009年國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)、2007年國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)、1999年國(guó)家自然科學(xué)三等獎(jiǎng)和8項(xiàng)省部級(jí)科研成果獎(jiǎng)勵(lì)。授權(quán)國(guó)家發(fā)明專利20余項(xiàng),國(guó)際專利2項(xiàng)。
第1章 緒論
參考文獻(xiàn)5
第2章 X射線的基本性質(zhì)
2.1X射線的本質(zhì)6
2.1.1X射線的波動(dòng)性7
2.1.2X射線的粒子性8
2.1.3X射線的一般性質(zhì)8
2.2X射線的產(chǎn)生9
2.2.1X射線管10
2.2.2X射線儀12
2.3X射線譜13
2.3.1連續(xù)X射線譜13
2.3.2特征X射線譜15
2.4X射線與物質(zhì)的相互作用18
2.4.1X射線的吸收19
2.4.2X射線的減弱規(guī)律20
2.4.3吸收限的應(yīng)用22
2.5X射線的探測(cè)與防護(hù)24
2.5.1X射線的探測(cè)24
2.5.2X射線的防護(hù)25
思考與練習(xí)題25
參考文獻(xiàn)26
第3章 晶體學(xué)基礎(chǔ)
3.1晶體結(jié)構(gòu)與空間點(diǎn)陣27
3.1.1晶體結(jié)構(gòu)概述27
3.1.2空間點(diǎn)陣28
3.1.3陣矢30
3.1.4陣胞31
3.1.5空間點(diǎn)陣的種類32
3.1.6晶胞與晶體結(jié)構(gòu)35
3.2晶面和晶向指數(shù)37
3.2.1陣胞中的點(diǎn)37
3.2.2陣胞內(nèi)的直線38
3.2.3陣胞中的平面39
3.2.4晶胞內(nèi)的等價(jià)點(diǎn)、晶向和晶面40
3.2.5六方晶系中的晶面指數(shù)40
3.2.6晶面間距43
3.3晶體中的對(duì)稱操作與對(duì)稱元素43
3.3.1宏觀對(duì)稱操作與對(duì)稱元素44
3.3.2微觀對(duì)稱操作與對(duì)稱元素48
3.4點(diǎn)群與空間群51
3.4.1點(diǎn)群的概念51
3.4.2點(diǎn)群符號(hào)52
3.4.3空間群的概念與符號(hào)56
3.4.4空間群圖表簡(jiǎn)介57
3.5晶體的投影58
3.5.1球面投影59
3.5.2極射投影60
3.5.3吳氏網(wǎng)與標(biāo)準(zhǔn)投影61
3.6倒易點(diǎn)陣70
3.6.1倒易點(diǎn)陣的概念70
3.6.2倒易點(diǎn)陣與正點(diǎn)陣之間的倒易關(guān)系72
3.6.3利用倒易矢量計(jì)算晶面間距與晶面夾角75
3.6.4晶帶與倒易面77
思考與練習(xí)題79
參考文獻(xiàn)82
第4章 X射線的散射、干涉與衍射
4.1單個(gè)電子對(duì)X射線的散射83
4.1.1相干散射83
4.1.2非相干散射87
4.2散射線的干涉88
4.2.1相位差與散射矢量88
4.2.2合成振幅與強(qiáng)度89
4.3單個(gè)原子對(duì)X射線的散射92
4.3.1單電子原子的散射93
4.3.2多電子原子的散射94
4.4原子群體的散射97
4.4.1散射振幅與強(qiáng)度97
4.4.2多原子氣體與“粉塵”的散射98
4.5晶體的衍射101
4.5.1晶胞對(duì)X射線的散射102
4.5.2小晶體的衍射103
4.6X射線的衍射方向106
4.6.1干涉方程107
4.6.2布拉格定律107
4.6.3厄瓦爾德圖解109
4.7結(jié)構(gòu)因子與消光條件111
4.7.1點(diǎn)陣消光與結(jié)構(gòu)消光111
4.7.2點(diǎn)陣消光條件112
4.7.3結(jié)構(gòu)消光條件113
4.7.4加權(quán)倒易點(diǎn)陣114
4.8獲得衍射線的方法概述116
4.8.1連續(xù)譜X射線117
4.8.2轉(zhuǎn)動(dòng)晶體法117
4.8.3發(fā)散X射線束118
4.8.4粉末多晶法119
思考與練習(xí)題120
參考文獻(xiàn)121
第5章 衍射線的強(qiáng)度分析
5.1晶體的嵌鑲塊結(jié)構(gòu)122
5.2實(shí)際小晶體的衍射積分強(qiáng)度123
5.3多晶體的衍射線強(qiáng)度126
5.4影響衍射強(qiáng)度的因素128
5.4.1洛倫茲因子128
5.4.2吸收因子128
5.4.3多重因子132
5.4.4溫度因子133
5.4.5晶體結(jié)構(gòu)的影響134
5.4.6消光的影響135
5.4.7粉末多晶法的積分強(qiáng)度與相對(duì)強(qiáng)度136
5.5衍射強(qiáng)度的計(jì)算實(shí)例137
5.5.1列表計(jì)算衍射線的相對(duì)強(qiáng)度137
5.5.2利用計(jì)算機(jī)計(jì)算衍射線的相對(duì)強(qiáng)度138
思考與練習(xí)題141
參考文獻(xiàn)141
第6章 多晶體衍射信息的獲取方法
6.1德拜法142
6.1.1德拜法原理142
6.1.2德拜相機(jī)144
6.1.3德拜照片的計(jì)算與標(biāo)定145
6.1.4其他照相方法148
6.2衍射儀法150
6.2.1測(cè)角儀151
6.2.2探測(cè)器153
6.2.3控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)158
6.2.4晶體單色器160
6.2.5衍射儀161
6.3衍射圖樣的獲得164
6.3.1試樣制備要求164
6.3.2衍射全圖的獲得165
6.3.3單峰測(cè)試166
6.4衍射信息的獲取167
6.4.1衍射線的線位167
6.4.2衍射線的強(qiáng)度169
6.4.3衍射線的寬度170
6.5衍射線的線形分析172
6.5.1實(shí)測(cè)線形與真實(shí)線形172
6.5.2Kα雙線的分離173
6.5.3吸收、溫度和角因子的校正178
6.5.4儀器因數(shù)的校正180
思考與練習(xí)題186
參考文獻(xiàn)187
第7章 單晶體衍射信息的獲取方法
7.1勞厄法188
7.1.1勞厄法照相188
7.1.2勞厄照片的特征190
7.2勞厄法的應(yīng)用191
7.2.1單晶取向的測(cè)定191
7.2.2透射勞厄法測(cè)定單晶取向193
7.2.3背射勞厄法測(cè)定單晶取向195
7.2.4單晶體的定向切割198
7.2.5塑性變形的研究200
7.3四圓單晶衍射儀法203
7.3.1四圓單晶衍射儀簡(jiǎn)介203
7.3.2四圓單晶衍射儀的晶體結(jié)構(gòu)分析過(guò)程205
7.3.3四圓單晶衍射儀的衍射幾何205
7.3.4衍射幾何轉(zhuǎn)換矩陣207
7.4二維面探測(cè)器210
思考與練習(xí)題212
參考文獻(xiàn)212
第8章 物相分析
8.1定性相分析213
8.1.1PDF卡片214
8.1.2PDF檢索215
8.1.3定性相分析方法217
8.2定量相分析221
8.2.1外標(biāo)法222
8.2.2內(nèi)標(biāo)法223
8.2.3自標(biāo)法225
8.2.4其他方法舉例229
8.3衍射全譜擬合法與Rietveld結(jié)構(gòu)精修229
8.3.1全譜擬合的原理230
8.3.2Rietveld方法中的擬合函數(shù)232
8.3.3Rietveld結(jié)構(gòu)精修步驟234
8.3.4Rietveld定量相分析方法235
思考與練習(xí)題237
參考文獻(xiàn)237
第9章 點(diǎn)陣常數(shù)的精確測(cè)定
9.1基本原理238
9.2衍射儀法的主要誤差240
9.2.1測(cè)角儀引起的誤差240
9.2.2試樣引起的誤差242
9.2.3其他誤差243
9.3外推法消除系統(tǒng)誤差244
9.3.1外推法原理244
9.3.2外推函數(shù)的選擇245
9.3.3外推判據(jù)246
9.3.4柯亨最小二乘法248
思考與練習(xí)題249
參考文獻(xiàn)249
第10章 宏觀應(yīng)力的測(cè)定
10.1基本原理250
10.1.1應(yīng)力-應(yīng)變關(guān)系250
10.1.2X射線衍射方法測(cè)定應(yīng)力的原理252
10.1.3表面應(yīng)力狀態(tài)的確定254
10.1.4用X射線衍射方法測(cè)定應(yīng)力的特點(diǎn)254
10.2衍射儀法測(cè)定宏觀應(yīng)力256
10.2.1基本方法257
10.2.2半聚焦法測(cè)應(yīng)力258
10.2.3平行光束法測(cè)應(yīng)力258
10.2.4邊傾斜法測(cè)應(yīng)力259
10.2.5應(yīng)力測(cè)試實(shí)例260
思考與練習(xí)題261
參考文獻(xiàn)261
第11章 微晶尺寸與微觀應(yīng)力的測(cè)定
11.1微晶尺寸的測(cè)定262
11.1.1微晶引起的寬化效應(yīng)262
11.1.2微晶尺寸的計(jì)算263
11.1.3微晶尺寸的確定264
11.2微觀應(yīng)力的測(cè)定266
11.2.1微觀應(yīng)力的倒易空間描述267
11.2.2微觀應(yīng)力的計(jì)算268
11.2.3微觀應(yīng)力的測(cè)定實(shí)例269
11.3微晶寬化和微觀應(yīng)力寬化的分離269
11.3.1近似函數(shù)法270
11.3.2傅里葉分析法272
11.3.3方差分解法277
思考與練習(xí)題278
參考文獻(xiàn)278
第12章 織構(gòu)的測(cè)定
12.1織構(gòu)及其表示方法279
12.1.1織構(gòu)與織構(gòu)的分類279
12.1.2織構(gòu)的表示方法281
12.2正極圖的獲得286
12.2.1照相法測(cè)正極圖286
12.2.2衍射儀法測(cè)正極圖289
12.3反極圖的獲得與分析297
12.3.1反極圖的獲得297
12.3.2反極圖數(shù)據(jù)的歸一化處理300
12.3.3各向異性的計(jì)算303
12.4極分布圖的測(cè)定305
12.4.1極分布圖305
12.4.2極分布圖的測(cè)定305
12.4.3回?cái)[曲線的測(cè)定307
思考與練習(xí)題307
參考文獻(xiàn)308
第13章 薄膜材料分析
13.1概述309
13.2薄膜分析中的常用X射線方法310
13.2.1常規(guī)粉末衍射法310
13.2.2掠入射X射線衍射310
13.2.3小角X射線散射312
13.2.4雙晶衍射儀313
13.3掠入射X射線衍射313
13.3.1掠入射X射線衍射全反射314
13.3.2多層膜結(jié)構(gòu)對(duì)X射線的反射317
13.3.3薄膜性質(zhì)對(duì)X射線反射率的影響318
13.3.4X射線反射測(cè)定薄膜厚度321
13.4薄膜生長(zhǎng)取向的測(cè)定322
13.4.1Φ掃描322
13.4.2薄膜材料中極圖的測(cè)定323
思考與練習(xí)題324
參考文獻(xiàn)325
第14章 高分子材料分析
14.1高分子材料概述326
14.1.1高分子晶體的特點(diǎn)326
14.1.2高分子鏈段的組成及其堆砌結(jié)構(gòu)328
14.1.3高分子聚合物晶體結(jié)構(gòu)模型329
14.2高分子聚合物結(jié)晶度的測(cè)定331
14.2.1基本原理331
14.2.2作圖法331
14.2.3Ruland法333
14.2.4擬合分峰法335
14.2.5回歸線法337
14.3高分子材料的小角X射線散射338
14.3.1基本原理339
14.3.2小角散射強(qiáng)度公式340
14.3.3小角散射的實(shí)驗(yàn)技術(shù)與方法348
14.3.4Guinier作圖法352
思考與練習(xí)題353
參考文獻(xiàn)353
第15章 非晶材料分析
15.1非晶態(tài)及其結(jié)構(gòu)描述354
15.1.1非晶態(tài)354
15.1.2徑向分布函數(shù)356
15.2單原子系統(tǒng)的徑向分布函數(shù)357
15.2.1原子徑向分布函數(shù)的表達(dá)式357
15.2.2液體鈉的徑向分布函數(shù)359
15.3多元非晶系統(tǒng)的徑向分布函數(shù)360
15.3.1徑向分布函數(shù)的有效電子密度表示法360
15.3.2多元系統(tǒng)的全徑向分布函數(shù)與偏徑向分布函數(shù)362
15.4徑向分布函數(shù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的處理366
15.4.1實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的獲得366
15.4.2實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的處理367
15.4.3徑向分布函數(shù)的獲得370
15.5測(cè)試實(shí)例371
15.5.1GdFe系的徑向分布函數(shù)371
15.5.2炭黑的徑向分布函數(shù)372
思考與練習(xí)題374
參考文獻(xiàn)374
第16章 同步輻射的應(yīng)用
16.1同步輻射X射線源375
16.1.1同步輻射概述375
16.1.2同步輻射光源的發(fā)展過(guò)程377
16.1.3同步輻射裝置的現(xiàn)狀378
16.2X射線吸收精細(xì)結(jié)構(gòu)379
16.2.1XAFS基本原理379
16.2.2近邊譜(XANES)381
16.2.3擴(kuò)展譜(EXAFS)384
思考與練習(xí)題386
參考文獻(xiàn)387
附錄
1.國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量表388
2.晶體結(jié)構(gòu)資料389
3.某些化合物和固溶體的晶體結(jié)構(gòu)392
4.某些元素的特征譜與吸收限波長(zhǎng)393
5.鎢的特征L譜線394
6. Kα雙線分離度(θα2-θα1)395
7.質(zhì)量吸收系數(shù)和密度397
8.原子散射因子f399
9.原子散射因子在吸收限近旁的減小值Δf402
10.洛倫茲-偏振因子1+cos22θ/sin2θcosθ402
11.德拜-瓦洛溫度因子e-(Bsin2θ)/λ2405
12.米勒指數(shù)的二次式405
13.晶面間距與點(diǎn)陣參數(shù)的關(guān)系406
14.常用矢量關(guān)系與有關(guān)公式的證明407
15.高聚物結(jié)晶度計(jì)算公式反校正因子408
16.聚芳醚酮類聚合物(PAEKs)結(jié)晶度計(jì)算公式410