本書內(nèi)容包括:薄膜光學(xué)特性的理論計(jì)算,常見(jiàn)介質(zhì)膜系及其設(shè)計(jì),真空鍍膜技術(shù),常見(jiàn)光學(xué)薄膜材料,光學(xué)薄膜的結(jié)構(gòu)與特性,光學(xué)薄膜特性檢測(cè)技術(shù),光學(xué)功能薄膜的應(yīng)用研究。全書內(nèi)容翔實(shí),概念清楚,層次分明,實(shí)用性強(qiáng),可供光學(xué)薄膜和其他薄膜領(lǐng)域研究人員、技術(shù)人員、各類從業(yè)人員參考,也可供薄膜元件的應(yīng)用者或其他相關(guān)人員參考。
本書重點(diǎn)介紹了作者課題組近幾年來(lái)在國(guó)家自然科學(xué)基金、國(guó)防預(yù)研基金、重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金等一系列基礎(chǔ)研究項(xiàng)目的支持下,在物理氣相沉積硬質(zhì)薄膜強(qiáng)韌化方法、理論、表征及強(qiáng)韌化薄膜應(yīng)用領(lǐng)域的研究成果。主要論述了如何制備和表征具有強(qiáng)、韌性能的薄膜,包括薄膜的制備方法,薄膜強(qiáng)化技術(shù),薄膜韌化技術(shù),薄膜的強(qiáng)韌性能表征,薄膜內(nèi)應(yīng)力,強(qiáng)韌化薄膜實(shí)例。