《微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）工藝基礎(chǔ)與應(yīng)用》著重從基本理論和具體應(yīng)用方面闡述MEMS工藝。主要介紹MEMS的概念、發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢(shì)及力學(xué)相關(guān)知識(shí)；重點(diǎn)闡述MEMS實(shí)現(xiàn)工藝，主要有刻蝕（包括各向同性和各向異性刻蝕的原理、實(shí)現(xiàn)的方法、以及刻蝕自停止技術(shù)和干法刻蝕），表面微加工工藝的基本原理及其常用材料，硅片鍵合技術(shù)的各種方法、工

《微特電機(jī)》系統(tǒng)地介紹了各種微特電機(jī)運(yùn)行原理、性能特點(diǎn)和設(shè)計(jì)方法等內(nèi)容。全書共分三篇：上篇介紹通用基礎(chǔ)理論，分別從電磁理論基礎(chǔ)、磁路分析與永磁磁路、交流繞組基礎(chǔ)、損耗與發(fā)熱、振動(dòng)、噪聲與電磁兼容、電機(jī)常用分析方法等方面進(jìn)行詳細(xì)講述；中篇介紹伺服與控制電機(jī)，從電氣伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的共性問題出發(fā)，主要講述了永磁直流電動(dòng)機(jī)、永磁

《微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)和原型設(shè)計(jì)指南》的目的是通過一個(gè)使用頂級(jí)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)工具進(jìn)行布局布線和建模的MEMS設(shè)計(jì)體驗(yàn)指導(dǎo)學(xué)生們，以提供一個(gè)健壯的、標(biāo)準(zhǔn)多元晶圓制造工藝的設(shè)計(jì)。許多這樣的工藝都有成熟的設(shè)計(jì)規(guī)則可以分離設(shè)計(jì)和制造挑戰(zhàn)。如果遵循這些規(guī)則，學(xué)生們能夠獲得他們所設(shè)計(jì)的東西。然而標(biāo)準(zhǔn)工藝的使用對(duì)可以制造的設(shè)備具有一些局限

田文超、婁利飛編著的《微機(jī)電技術(shù)》系統(tǒng)地介紹了微機(jī)電技術(shù)基本內(nèi)容、分析方法和主要應(yīng)用，包括微機(jī)電系統(tǒng)概述、材料、工藝、典型器件、應(yīng)用，RFMEMS及重構(gòu)天線，MEMS力學(xué)問題等。書中包含大量圖、表，研究成果及相關(guān)結(jié)論，內(nèi)容豐富。本書可供高年級(jí)本科生和研究生使用，也可以作相關(guān)工程技術(shù)人員及科技管理人員的參考書。

《普通高等教育“十二五”規(guī)劃教材普通高等教育“十一五”國家級(jí)規(guī)劃教材微特電機(jī)及系統(tǒng)（第二版）》為普通高等教育“十二五”規(guī)劃教材。全書共十一章，主要內(nèi)容包括伺服電動(dòng)機(jī)與伺服系統(tǒng)、測(cè)速發(fā)電機(jī)、步進(jìn)電動(dòng)機(jī)、自整角機(jī)、旋轉(zhuǎn)變壓器、永磁無刷直流電動(dòng)機(jī)、單相交流串勵(lì)電動(dòng)機(jī)、直線電動(dòng)機(jī)、定子勵(lì)磁型雙凸極無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、超聲波電動(dòng)機(jī)

《微納制造的基礎(chǔ)研究學(xué)術(shù)著作叢書：微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造技術(shù)》主要論述微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造技術(shù)，全書共9章。第1章闡述MEMS制造技術(shù)的定義、發(fā)展歷程和發(fā)展趨勢(shì)；第2章介紹MEMS制造的材料基礎(chǔ)；第3章闡述MEMS制造中的沾污及潔凈技術(shù)；第4章闡述包括光刻技術(shù)和軟光刻技術(shù)在內(nèi)的圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)；第5章闡述濕法腐蝕

《普通高等教育“十一五”規(guī)劃教材：控制電機(jī)（第4版）》是在原第三版教材的基礎(chǔ)上修訂而成的，書中主要闡述自動(dòng)控制系統(tǒng)中常用的各種控制電機(jī)的基本結(jié)構(gòu)、工作原理、工作特性和使用方法，其中包括交、直流伺服電動(dòng)機(jī)，交、直流測(cè)速發(fā)電機(jī)，自整角機(jī)，旋轉(zhuǎn)變壓器，無刷直流電動(dòng)機(jī)，步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，開關(guān)磁阻電動(dòng)機(jī)，交軸磁場放大機(jī)等，并簡單介紹了

《國外電子電氣經(jīng)典教材系列：微機(jī)電系統(tǒng)基礎(chǔ)（原書第2版）》第1版被翻譯成3種文字出版發(fā)行，并已被美國一些著名大學(xué)作為教科書，在MEMS領(lǐng)域享有較高聲譽(yù)。全書共分15章。第1、2章概括了基本傳感原理和制造方法；第3章討論了當(dāng)今MEMS實(shí)踐中所必需的電學(xué)和機(jī)械工程基本知識(shí)；第4～9章分別描述了靜電、熱、壓阻、壓電、磁敏感與

《小型交流伺服電機(jī)控制電路設(shè)計(jì)》主要介紹小型交流伺服電機(jī)的基本特性、設(shè)計(jì)方法及應(yīng)用實(shí)例。主要內(nèi)容包括交流伺服電機(jī)的基本原理、構(gòu)造與特征，電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路，電機(jī)控制，反饋控制電路的設(shè)計(jì)，使用單片機(jī)控制交流伺服電機(jī)，驅(qū)動(dòng)交流伺服電機(jī)的三相PWM控制回路，基于軟件的伺服控制器的設(shè)計(jì)，基于匯編語言實(shí)現(xiàn)的伺服控制器高速化，交流伺服電

隨著電子技術(shù)的發(fā)展，控制電機(jī)在實(shí)際工程中的應(yīng)用愈加廣泛，本書在汲取傳統(tǒng)的控制電機(jī)教材對(duì)原理講述清楚的基礎(chǔ)上增加了控制等內(nèi)容。將新的控制技術(shù)與控制芯片相結(jié)合，以適應(yīng)寬口徑復(fù)合型人才培養(yǎng)的需要。全書共分七章，第1章主要介紹直流伺服電動(dòng)機(jī)、直流力矩電動(dòng)機(jī)和無刷直流電動(dòng)機(jī)的原理、結(jié)構(gòu)、運(yùn)行特性及控制；第2章主要介紹永磁同步伺服